[发明专利]氮化物密度的相似性分析方法和设备

说明书

本发明提供一种氮化物密度的相似性分析方法和设备。该方法包括：分别对第一图谱和第二图谱进行预处理，得到所述第一图谱的第一电荷捕获层和所述第二图谱的第二电荷捕获层；根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度。和现有技术通过人为观察方式得到大概相似度的方法相比，提高了相似度的准确性。

技术领域

本发明设备存储领域，尤其涉及一种氮化物密度的相似性分析方法和设备。

背景技术

三维快闪存储器通过把内存颗粒堆叠在一起可解决二维快闪存储器或者平面快闪存储器带来的限制。三维快闪存储器的半导体结构中包括多个垂直贯穿堆叠层的沟道孔，ONO结构11就设置于该沟道孔中。ONO结构11包括电荷捕获层，通常电荷捕获层的材料为氮化物，由于电荷捕获层中氮化物的密度分布是影响存储器存储质量的重要因素，因此，无论是在产品的研发阶段还是量产阶段，都要对电荷捕获层的氮化物密度做相似性分析，以确保产品质量。比如，将新产品的样本和黄金样本做相似性分析，若相似度大于预设值，则认为新产品质量过关，上述黄金样本为氮化物密度分布较为理想的样本。

现有技术中，在得到两个样本的电子能量损失谱的基础上，首先，通过人为方式找出两个样本的电荷捕获层，然后，通过人为方式绘制出两个电荷捕获层的密度分布图，最后，通过人为观察方式比较两个密度分布图的差别，进而得到一个大概的相似度。该方法主要通过人为方式实现相似度的确定，准确度低。

发明内容

本发明提供一种氮化物密度的相似性分析方法和设备，用于解决现有技术确定的氮化物密度相似度的准确度低的问题。

第一方面，本发明提供一种氮化物密度的相似性分析方法，包括：

分别对第一图谱和第二图谱进行预处理，得到所述第一图谱的第一电荷捕获层和所述第二图谱的第二电荷捕获层；

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度。

可选的，所述分别对第一图谱和第二图谱进行预处理，得到所述第一图谱的第一电荷捕获层和所述第二图谱的第二电荷捕获层，包括：

分别对第一图谱和第二图谱进行二值化处理、去噪处理和过滤处理，得到所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层。

可选的，所述根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度，包括：

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定各密度值对应的第一归一化频率分布图；

根据所述第一归一化频率分布图，确定各密度值对应的第一累计频数分布图；

根据所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定各密度值对应的第二归一化频率分布图；

根据所述第二归一化频率分布图，确定各密度值对应的第二累计频数分布图；

根据所述第一累计频数分布图和所述第二累计频数分布图，确定目标密度值，所述目标密度值和所述各密度值中除所述目标密度值以外的密度值相比，所述目标密度值的第一累计频数和第二累计频数的差值最大；

将所述目标密度值的第一累计频数和第二累计频数的差值确定为所述氮化物密度相似度。

可选的，所述根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度，包括：

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取所述第一电荷捕获层对应的第一平均密度分布图；