[发明专利]氮化物密度的相似性分析方法和设备

权利要求书

1.一种氮化物密度的相似性分析方法，其特征在于，包括：

分别对第一图谱和第二图谱进行预处理，得到所述第一图谱的第一电荷捕获层和所述第二图谱的第二电荷捕获层；

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分别对第一图谱和第二图谱进行预处理，得到所述第一图谱的第一电荷捕获层和所述第二图谱的第二电荷捕获层，包括：

分别对第一图谱和第二图谱进行二值化处理、去噪处理和过滤处理，得到所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度，包括：

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定各密度值对应的第一归一化频率分布图；

根据所述第一归一化频率分布图，确定各密度值对应的第一累计频数分布图；

根据所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定各密度值对应的第二归一化频率分布图；

根据所述第二归一化频率分布图，确定各密度值对应的第二累计频数分布图；

根据所述第一累计频数分布图和所述第二累计频数分布图，确定目标密度值，所述目标密度值和所述各密度值中除所述目标密度值以外的密度值相比，所述目标密度值的第一累计频数和第二累计频数的差值最大；

将所述目标密度值的第一累计频数和第二累计频数的差值确定为所述氮化物密度相似度。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度和所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，确定所述第一电荷捕获层和所述第二电荷捕获层的氮化物密度相似度，包括：

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取所述第一电荷捕获层对应的第一平均密度分布图；

根据所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取所述第二电荷捕获层对应的第二平均密度分布图；

根据所述第一平均密度分布图和所述第二平均密度分布图，确定所述氮化物密度相似度。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取所述第一电荷捕获层对应的第一平均密度分布图，包括：

根据所述第一电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取从所述第一电荷捕获层的第一中心点指向所述第一图谱不同方向上，距离所述第一中心点不同长度的第一分布图；

对所述第一分布图取平均处理，得到所述第一平均密度分布图。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取所述第二电荷捕获层对应的第二平均密度分布图，包括：

根据所述第二电荷捕获层中各点的氮化物密度，获取从所述第二电荷捕获层的第二中心点指向所述第二图谱不同方向上，距离所述第二中心点不同长度的第二分布图；

对所述第二分布图取平均处理，得到所述第二平均密度分布图。

7.根据权利要求4-6任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一平均密度分布图和所述第二平均密度分布图，确定所述氮化物密度相似度，包括：

采用如下公式确定所述氮化物密度相似度：

其中，SSM(S1，S2)表示所述氮化物密度相似度，表示所述第一平均密度分布图和所述第二平均密度分布图的最大公共相似域的长度，C_depth表示长度标准化参数，C_density表示密度标准化参数，C_domain区域间隔长度标准化参数，A_m(S1，S2)表示第一平均密度分布图和第二平均密度分布图在区域所围成的面积。