[发明专利]摄像机构以及具有摄像机构的试样分析装置

权利要求书

1.一种摄像机构，其特征在于，包括：

用于光学地观察试样的光学测量部；

通过支承部件搭载在工作台上的、用于对所述试样进行加热和冷却的温度调节单元；和

为了拍摄所述试样的全部区域而使所述工作台移动的移动机构，

所述温度调节单元包括：

与帕尔贴元件的一面抵接的、用于对所述试样进行加热和冷却的温度调节部；

与所述帕尔贴元件的另一面抵接的导热部件；和

用于保持所述温度调节部和所述导热部件并将其固定在所述工作台上的支承部件，

至少所述导热部件与冷却单元连接，

所述支承部件的导热率低于所述导热部件的导热率。

2.如权利要求1所述的摄像机构，其特征在于：

所述支承部件由具有与所述导热部件相比较低的线膨胀系数的材质构成。

3.如权利要求1所述的摄像机构，其特征在于：

所述导热部件使用Al合金A6063，所述支承部件使用Fe-Ni36％合金。

4.如权利要求1所述的摄像机构，其特征在于：

所述支承部件中具有槽状部，所述导热部件设置在所述槽状部中。

5.如权利要求1所述的摄像机构，其特征在于：

所述支承部件中具有孔状部，所述导热部件以穿过所述孔状部的方式设置在所述孔状部中。

6.如权利要求1所述的摄像机构，其特征在于：

所述帕尔贴元件被所述温度调节部与所述导热部件夹着而被固定，所述支承部件以与所述温度调节部连结而与所述帕尔贴元件和所述导热部件不接触的方式安装。

7.一种试样分析装置，其特征在于：

具有权利要求1～6中任一项所述的摄像机构。