[发明专利]沉积装置

说明书

本发明的沉积装置包括将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚、以及被构造成加热所述坩埚的加热器单元，所述坩埚包括上表面开口并将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚主体、在所述坩埚主体的上部向外延伸的坩埚法兰、连接至所述坩埚法兰的上侧并设置有用于排出所述沉积材料的至少一个或多个的喷嘴的坩埚盖，所述加热器单元包括与所述坩埚主体的外侧间隔开的加热器框架、以及安装在所述加热器框架的内壁上并与所述坩埚主体间隔开的加热器，并且所述坩埚法兰支撑在所述加热器框架的上端。

[技术领域]

本发明涉及一种将沉积材料沉积在气相沉积对象上的沉积装置，更具体而言，涉及一种能够均匀地保持坩埚的内部温度并有效地防止坩埚侧喷嘴处的堵塞现象的沉积装置。

[背景技术]

沉积是一种将气态颗粒喷射到诸如金属或玻璃等物体的表面上以形成薄固体膜的方法。

最近，随着有机发光二极管(OLED)显示器在诸如TV或移动电话等电子设备上的使用增加，对用于OLED显示器面板的设备的研究也活跃。特别是，制造OLED显示器面板的方法包括在真空状态下在玻璃基板上沉积有机材料的过程。

具体而言，沉积过程包括加热容纳有机材料的坩埚以将有机材料蒸发成气态的过程，以及将气态的有机材料通过喷嘴沉积在基板上的过程。

为了在大面积基板上沉积有机薄膜，使用了大坩埚，但大坩埚的内部温度和压力分布的变化可能很大。

当坩埚内部出现温度不均匀时，沉积材料根据坩埚的位置而被不同地消耗，因此有机薄膜形成效率可能降低。另外，当施加到有机材料的温度高于有机材料的升华温度时，有机材料变性。难以在整个区域提供均匀的温度和压力条件并且由于长时间的连续固定而难以抑制有机材料的变性。

韩国专利登记号1671489(于2010年7月29日提交)公开了一种用于均匀地保持坩埚内部温度的有机材料蒸发源以及包含其的沉积装置。

有机材料蒸发源包括主体、包含连接至形成在主体一侧的开口的喷嘴的坩埚、布置在坩埚附近的加热器、支撑坩埚和加热器的加热器框架以及支撑加热器框架的支撑件。

由于加热器可通过加热器框架和支撑件固定在与坩埚相隔预定距离的位置处，因此加热器的热量可作为辐射热均匀地传递至坩埚。

然而，由于坩埚和加热器框架之间的温差较大，因此加热器的热量可作为传导热通过支撑件传递至坩埚。即使改善支撑件的形状和材料，在解决坩埚内部的温度不均匀方面也存在限制。

另外，当加热器框架变形时，支撑件可与规定位置分离，并且支撑件与坩埚之间的接触程度可能变化，这可能进一步导致坩埚内部的温度不均匀。

同时，在沉积过程中，气态的有机材料可沉积在喷嘴周围而形成膜，或者可发生堵塞喷嘴的孔的堵塞现象。

因此，当发生这种堵塞现象时，有机材料可能会不均匀地沉积在玻璃基板上。如果发生的堵塞现象更严重，则需要停止沉积过程以清洁喷嘴。

韩国专利注册号662624(于2003年9月3日提交)公开了一种用于降低向上部的传热率并提高向下部的热发射率的反射器以及包含其的有机电致发光层沉积用沉积源，以解决在沉积过程中有机材料堵塞喷嘴周围的堵塞现象。

反射器包括由陶瓷或传热率低的金属组成的主体、形成在主体底部并具有低发射率的金属层、以及用于主体和沉积源的上部构件之间的接触并由陶瓷制成的支撑构件。

然而，反射器仅保持坩埚上部的温度。在仅通过反射器结构完全清除位于坩埚上部的喷嘴的堵塞现象方面存在限制。

韩国专利登记号1561852(于2014年3月31日提交)公开了一种线性蒸发源(加热器可从其上拆卸)，其包括连接至坩埚的喷嘴或从坩埚的喷嘴拆卸的第一加热器单元、以及对应于坩埚的上侧和下侧的第二加热器单元和第三加热器单元。