[发明专利]线性标尺的检测值的校正方法

说明书

提供更准确地校正由线性标尺的检测值确定的拍摄对象上的点的位置坐标的方法。使视野移动到对校准板上形成的凹部定义的计测点来进行拍摄(步骤S13‑1)，从凹部的端缘的图像检测边缘(步骤S13‑2)，计算该边缘的交点(步骤S13‑3)，保存该交点的基于线性标尺的实测值(步骤S13‑4)，使用与真值的差分，对拍摄对象上的点的由线性标尺检测出的位置坐标进行校正。

技术领域

本发明涉及线性标尺的检测值的校正方法。

背景技术

以往，提出了一种尺寸测定装置，其具备在X、Y方向上移动的X-Y工作台、测定各个方向的移动量的线性标尺、进行定位的瞄准装置、设置有已知其正确的位置的多个标记的校正板、以及运算装置(参照专利文献1)。

在这样的装置中，在X-Y工作台上载置校正板，通过2个线性标尺测定多个标记的位置，将该多个测定值以及表示标记的位置的多个准确的值存储于运算装置。而且，在对被测定部进行测定时，基于该存储的值，通过运算装置进行测定的校正。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开昭62-119607号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述的尺寸测定装置中使用的校正板是在去除了应变的铝板等上网格状地设有具有小的半径的孔的校正板。

在这样的校正板中，由于作为标记的孔的半径小，因此根据该孔的图像的圆周上的点提取作为基准的圆的中心时的误差的影响容易较大。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够更准确地校正由线性标尺的检测值确定的拍摄对象上的点的位置坐标的方法。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的本发明是一种线性标尺的检测值的校正方法，该线性标尺是根据线性标尺的检测值来确定拍摄对象上的点的位置坐标的装置中的线性标尺，该校正方法的特征在于，使用二维地配置有具有交叉的端缘的凹部或凸部的校准板，将对所述校准板定义的基板坐标系中的所述端缘的交点的位置坐标保持为真值，取得基准点在所述基板坐标系中的基于所述线性标尺的位置坐标作为实测值，所述基准点被定义为从拍摄所述校准板而得到的图像中的所述凹部或凸部的交叉的端缘的图像检测出的边缘(edge)的交点，将所述实测值与所述真值的差分作为校正量，对所述拍摄对象上的点的线性标尺的检测值进行校正。

这样，将基准点定义为从配置于校准板的凹部的端缘的图像检测出的边缘的交点。计算穿过校准板的交叉的端缘的边缘上的隔开某种程度的2点的直线，将基准点定义为这样得到的直线的交点，因此能够减小误差的影响。因此，如果像这样使用校准板来校正拍摄对象上的点的线性标尺的检测值，则能够更准确地校正拍摄对象上的点的位置坐标。

另外，本发明也可以是，在所述真值取得时和所述实测值取得时，所述校准板的温度存在差异的情况下，对该真值校正由该温度的差异导致的热膨胀引起的变化的量。

这样，在实施使用了校准板的校准时与取得真值时相比存在温度差的情况下，能够进行考虑了由温度差引起的校准板的热膨胀的校正。

另外，本发明也可以是，在所述真值取得值和所述实测值取得时存在相对于所述装置的位置偏离的情况下，对该真值校正所述位置偏离的量。

这样，在利用校准板进行实测取得时，即使校准板相对于装置因旋转或平行移动而发生位置偏离，也能够进行考虑了该位置偏离的校正。

另外，本发明也可以是，所述校准板在方形的板状构件的面上二维地配置有通过锪孔加工而形成的具有方形的所述端缘的所述凹部。

若这样形成校准板，则拍摄凹部的端缘时的边缘变得更鲜明、明确，能够进行更准确的校正。