[发明专利]线性标尺的检测值的校正方法

权利要求书

1.一种线性标尺的检测值的校正方法，该线性标尺是根据线性标尺的检测值来确定拍摄对象上的点的位置坐标的装置中的线性标尺，该校正方法的特征在于，

使用二维地配置有具有交叉的端缘的凹部或凸部的校准板，

将对所述校准板定义的基板坐标系中的所述端缘的交点的位置坐标保持为真值，

取得基准点在所述基板坐标系中的基于所述线性标尺的位置坐标作为实测值，所述基准点被定义为从拍摄所述校准板而得到的图像中的所述凹部或凸部的交叉的端缘的图像检测出的边缘的交点，

将所述实测值与所述真值的差分作为校正量，对所述拍摄对象上的点的线性标尺的检测值进行校正。

2.根据权利要求1所述的线性标尺的检测值的校正方法，其特征在于，

在所述真值取得时和所述实测值取得时，所述校准板的温度存在差异的情况下，对该真值校正由该温度的差异导致的热膨胀引起的变化的量。

3.根据权利要求1或2所述的线性标尺的检测值的校正方法，其特征在于，

在所述真值取得时 和所述实测值取得时存在相对于所述装置的位置偏离的情况下，对该真值校正所述位置偏离的量。

4.根据权利要求1或2所述的线性标尺的检测值的校正方法，其特征在于，

所述校准板在方形的板状构件的面上二维地配置有通过锪孔加工而形成的具有方形的所述端缘的所述凹部。