[发明专利]阀装置和气体供给系统

权利要求书

1.一种阀装置，其能够拆卸地安装于形成有流路的流路块，其中，

所述阀装置具有：

阀体，其收纳于在所述流路块形成的收纳凹部，并且在底面具有第1端口和第2端口；以及

阀盖螺母，其在外周形成螺纹部，并且该螺纹部与所述收纳凹部的内周螺纹结合，由此，将所述阀体朝向所述收纳凹部的底部按压，并且将该阀体固定于所述流路块，

所述阀体具有在所述第1端口和所述第2端口的周围自所述底面突出地形成的密封用的第1环状突起和第2环状突起，

所述第1环状突起和所述第2环状突起形成为共用局部。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，

所述第1环状突起和所述第2环状突起作为整体具有数字8状的轮廓形状。

3.根据权利要求1或2所述的阀装置，其中，

所述第1环状突起和所述第2环状突起形成为关于包含所述阀体的中心轴线的假想平面左右对称。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的阀装置，其中，

所述阀装置在所述阀体与所述阀盖螺母之间还具有轴承，该轴承设为允许所述阀盖螺母相对于所述阀体的旋转。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的阀装置，其中，

所述流路块在所述收纳凹部的底面具有第3端口和第4端口，该第3端口和第4端口借助金属垫片分别与所述阀体的第1端口和第2端口连接，

所述流路块具有在所述第3端口和第3端口的周围自所述收纳凹部的底面突出地形成的密封用的第3环状突起和第4环状突起，

所述第3环状突起和所述第4环状突起形成为共用局部。

6.一种气体供给系统，其排列有多个流体设备，其中，

所述多个流体设备包括权利要求1至5中任一项所述的阀装置。

7.根据权利要求6所述的气体供给系统，其中，

所述阀装置设于气体供给系统的供给路径的最后段。