[发明专利]检查指示信息产生装置、基板检查系统、检查指示信息产生方法以及检查指示信息产生程序

权利要求书

1.一种检查指示信息产生装置，包括：存储部，存储表示基板的面状导体、导电部、配线、及通孔如何导通连接的导电结构信息，所述基板包括：作为设置有扩展成面状或网状的导电性的所述面状导体的层的导体层、设置有多个所述导电部的基板面、作为层叠于所述导体层与所述基板面之间的层的配线层、将所述配线层的配线与所述多个导电部连接的通孔、以及将所述配线层的配线与所述导体层的面状导体连接的通孔；以及

检查指示信息产生部，当存在多个经由所述配线层的配线而相互导通的所述导电部彼此的群组时，根据所述导电结构信息，执行如下的检查指示信息产生处理：自所述各群组中各选择一对所述导电部作为第一选择导电部，并将表示所述经选择的多对第一选择导电部的信息作为检查指示信息来记录。

2.根据权利要求1所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生处理包括如下的工序：

(a)根据所述导电结构信息，将经由所述配线层的配线而相互导通的所述导电部彼此群组化；以及

(b)针对所述经群组化的多个群组，自所述各群组中所包含的导电部中选择两个导电部作为所述一对第一选择导电部，并将所述经选择的多对第一选择导电部设为能够同时进行检查的检查部位而记录于所述检查指示信息。

3.根据权利要求2所述的检查指示信息产生装置，其中所述(b)工序进而在存在具有未被选择为所述第一选择导电部的导电部的群组的情况下，针对所述群组，将包含所述未被选择为第一选择导电部的导电部的两个导电部作为应与所述多对第一选择导电部不同时地进行检查的一对第二选择导电部，记录于所述检查指示信息。

4.根据权利要求2或3所述的检查指示信息产生装置，其中所述基板包括多层所述配线层，进而包括将所述多个配线层间连接的多个通孔，

所述检查指示信息产生部进而执行如下的工序：(d)在多个所述配线层的配线并联连接的情况下，在所述(a)工序之前，以将所述经并联连接的多个配线替换成所述各配线之中最接近所述基板面的一个配线的方式，变更所述导电结构信息，且

根据由所述(d)工序所变更的导电结构信息，执行所述检查指示信息产生处理。

5.根据权利要求4所述的检查指示信息产生装置，其中所述检查指示信息产生部进而执行如下的工序：(e)在通过所述配线与所述面状导体而将所述通孔或通孔的列并联连接的情况下，在所述(a)工序之前，以将所述经并联连接的通孔或通孔的列替换成一个通孔或一列通孔的方式，变更由所述(d)工序所变更的导电结构信息，且

根据由所述(e)工序所变更的导电结构信息，执行所述检查指示信息产生处理。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的检查指示信息产生装置，其中所述基板包括多层所述配线层，进而包括将所述多个配线层间连接的多个通孔，

所述检查指示信息产生部(f)将所述多个配线层之中，最接近所述基板面的配线层作为处理对象来执行所述(a)工序及(b)工序，

(g)针对除所述最接近所述基板面的配线层以外的其他配线层，将所述其他配线层分别作为处理对象，

(g1)针对成为所述处理对象的所述配线层的各配线，对应于其中一个配线，对于与所述一个配线的远离所述导体层的一侧连接的一个通孔，选择一个在所述一个通孔的与所述配线相反侧进行电性连接的所述导电部，由此针对对应的所述各配线，将所述经选择的导电部群组化，

(g2)针对在所述(g1)工序中经群组化的群组，执行所述(b)工序，且

所述(b)工序将所述各对的第一选择导电部与所述处理对象的配线层建立对应而记录于所述检查指示信息。

7.根据权利要求6所述的检查指示信息产生装置，其中所述(b)工序自在所述(f)工序及(g)工序中，将接近所述基板面的配线层选择为处理对象者起，依次将所述多对第一选择导电部针对所述各配线层进行排序后记录于所述检查指示信息。