[发明专利]具有反光表面的光谱仪以及相关仪器

权利要求书

1.一种光谱仪，其包括：

孔口，所述孔口被配置成允许光通过；

色散元件；

中阶梯光栅；

至少一个反射表面；以及

检测器，

其中所述至少一个反射表面光学耦合至孔口，并且通过所述色散元件光学耦合至所述中阶梯光栅，

其中将由所述孔口接收的光引导到所述至少一个反射表面，

其中从所述孔口引导到所述至少一个反射表面的所述光由所述至少一个反射表面反射到所述中阶梯光栅，

其中将由所述中阶梯光栅提供的光从所述中阶梯光栅引导到所述至少一个反射表面，并且

其中从所述中阶梯光栅引导到所述至少一个反射表面的所述光由所述至少一个反射表面反射到所述检测器。

2.根据权利要求1所述的光谱仪，

其中从所述孔口引导到所述至少一个反射表面的所述光由所述至少一个反射表面通过所述色散元件反射到所述中阶梯光栅，并且

其中将由所述中阶梯光栅提供的所述光通过所述色散元件引导到所述至少一个反射表面。

3.根据权利要求1所述的光谱仪，其中所述至少一个反射表面包括三镜系统。

4.根据权利要求1所述的光谱仪，

其中所述色散元件包括棱镜。

5.根据权利要求3所述的光谱仪，

其中所述色散元件包括双通棱镜。

6.根据权利要求1所述的光谱仪，

其中所述色散元件包括光栅。

7.根据权利要求1所述的光谱仪，

其中所述色散元件包括棱栅。

8.根据权利要求3所述的光谱仪，其中所述三镜系统包括反射三重态望远镜。

9.根据权利要求7所述的光谱仪，其中所述反射三重态望远镜还包括：

主镜，所述主镜光学耦合至所述孔口；

副镜，所述副镜光学耦合至所述主镜；以及

第三镜，所述第三镜光学耦合至所述副镜，其中所述第三镜通过所述色散元件光学耦合至所述中阶梯光栅。

10.根据权利要求1所述的光谱仪，其中所述光谱仪从感应耦合等离子体系统接收光。

11.一种光谱仪，其包括：

孔口，所述孔口被配置成允许光通过；

色散元件；

中阶梯光栅；

反射镜系统；

反射镜；

望远镜系统；以及

检测器，

其中所述孔口光学耦合至所述反射镜系统，所述反射镜系统光学耦合至所述中阶梯光栅并且光学耦合至所述反射镜，

其中将由所述孔口接收的光引导到所述反射镜系统，

其中从所述孔口引导到所述反射镜系统的所述光由所述反射镜系统反射到所述中阶梯光栅，

其中将由所述中阶梯光栅提供的光从所述中阶梯光栅引导到所述反射镜系统，并且

其中从所述中阶梯光栅引导到所述反射镜系统的所述光由所述反射镜系统反射到所述检测器。

12.根据权利要求11所述的光谱仪，

其中所述反射镜通过所述色散元件光学耦合至所述望远镜系统，并且

其中所述色散元件光学耦合至所述检测器。

13.根据权利要求11所述的光谱仪，

其中所述反射镜系统包括反射三重态望远镜。

14.根据权利要求11所述的光谱仪，其中所述色散元件包括棱镜。

15.根据权利要求11所述的光谱仪，其中所述色散元件是双通棱镜。

16.根据权利要求11所述的光谱仪，其中所述色散元件包括光栅。