[发明专利]用于银的无氰化物沉积的电解质在审
申请号: | 201980049002.0 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN112469847A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | S·伯格尔;K·布龙德尔;M·托马佐尼;U·曼兹 | 申请(专利权)人: | 优美科电镀技术有限公司 |
主分类号: | C25D3/46 | 分类号: | C25D3/46;C25D3/64 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘学媛 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 氰化物 沉积 电解质 | ||
1.用于电解沉积银和银合金涂层的含水的无氰化物电解质,所述电解质具有以下溶解形式的组分:
a)银浓度为0.1g/l至150g/l的至少一种银化合物,
b)合金金属浓度为0g/l至100g/l的至少一种合金金属的化合物,
c)至少一种式(I)的化合物
其中
R1、R2、R3和R4独立地表示氢、具有1至5个碳原子的直链或支链烷基基团、具有1至5个碳原子的烷氧基基团、具有1至5个碳原子的羟烷基基团或芳基基团,
并且
其中所述至少一种式(I)的化合物以1g/l至350g/l的浓度存在,
d)至少一种光亮剂载体,所述至少一种光亮剂载体选自
i.浓度为0.0001mol/l至5mol/l、具体地0.01mol/l至5mol/l的至少一种氨基酸,
和/或
ii.浓度为0.01mol/l至5mol/l的至少一种吡啶羧酸
e)至少一种增亮剂,所述至少一种增亮剂选自磺酰胺、2,2'-硫烷二基二乙醇、半胱氨酸、甲硫氨酸、具有5至7个环原子的脂族和芳族杂环化合物,其中所述脂族和芳族杂环化合物的环包含至少一个选自氮和硫的杂原子,并且其中所述脂族和芳族杂环化合物任选地包含一个或多个选自氮、氧和硫的另外的杂原子,以及这些增亮剂的混合物,其中所述增亮剂或所述增亮剂的混合物的浓度为0.005g/l至25g/l,
其中,如果所述至少一种增亮剂选自半胱氨酸和/或甲硫氨酸,并且根据d)i)的至少一种氨基酸被选择作为光亮剂载体,则所述光亮剂载体氨基酸既不是半胱氨酸也不是甲硫氨酸,
f)浓度为1g/l至200g/l的选自氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾以及它们的混合物的碱金属氢氧化物,
g)其中所述电解质具有大于或等于7的pH。
2.根据权利要求1所述的电解质,
其特征在于
所述磺酰胺具有作为结构元件的R1-SO2-NR2R3,
其中
R1、R2和R3彼此独立地为(C1-C10)烷基、(C3-C10)环烷基、(C6-C10)芳基、(C5-C10)杂芳基、(C5-C10)杂环烷基。
3.根据权利要求1和/或2所述的电解质,
其特征在于
所述银化合物选自甲磺酸银、碳酸银、磷酸银、焦磷酸银、硝酸银、氧化银、乳酸银、氟化银、溴化银、氯化银、碘化银和硫酸银。
4.根据前述权利要求中的一项所述的电解质,
其特征在于
所述至少一种合金金属的所述化合物选自锡、钯、锑、钴、铟、铁、镍、钌、铑、铂、铜、锌、硒、碲、铋、铱、锗、镓、铼、钨、钼、镝、铈和金的化合物。
5.根据前述权利要求中的一项所述的电解质,
其特征在于
所述至少一种式(I)的化合物选自1-甲基乙内酰脲、1,3-二甲基乙内酰脲、5,5-二甲基乙内酰脲、1-羟甲基-5,5-二甲基乙内酰脲、5,5'-二乙基乙内酰脲和5,5-二苯基乙内酰脲以及它们的混合物。
6.根据前述权利要求中的一项所述的电解质,
其特征在于
所述至少一种氨基酸选自甘氨酸、丙氨酸、脯氨酸和肌氨酸以及它们的混合物。
7.根据前述权利要求中的一项所述的电解质,
其特征在于
所述至少一种吡啶羧酸选自吡啶甲酸、吡啶甲酸酰胺、烟酸、烟酰胺、异烟酸、异烟酰胺以及它们的混合物。
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