[发明专利]多节点多用途O形环及制作密封的方法

权利要求书

1.一种处理腔室，包括：

第一可分离处理腔室部件，具有密封面；

第二可分离处理腔室部件，具有部件表面，其中所述第二可分离处理腔室部件包括形成于所述部件表面中的通道，其中所述通道包括密封小结，所述密封小结分离至少两道压痕；和

密封设备，包括：

主体；

多个密封节点；和

多个密封腹点，其中所述密封节点中的每一者的一部分具有表面，所述表面被配置为与所述第一可分离处理腔室部件和所述第二可分离处理腔室部件中的每一者的至少一个表面形成密封。

2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述密封设备包括弹性材料。

3.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述主体是用环管形状形成的。

4.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述主体包括聚合材料，且设置在所述密封设备的表面上的所述聚合材料的至少一部分包括颜料，所述颜料被添加为变更用来形成所述主体的未着色材料的色彩。

5.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述密封节点中的至少一者的一部分具有表面，所述表面被配置为在所述密封设备被设置在所述通道内时与所述第一可分离部件和所述第二可分离部件中的一者的至少一个表面形成密封，且所述第一可分离部件和所述第二可分离部件被定位为同时接触所述密封设备的不同部分。

6.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述多个密封节点中的第一密封节点的表面的一部分及所述多个密封腹点中的第一密封腹点的表面的一部分各自包括第一色彩，其中所述第一色彩与在所述多个密封节点中的第二密封节点的表面的一部分及所述多个密封腹点中的第二密封腹点的表面的一部分上所见的第二色彩不同。

7.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述多个密封节点中的密封节点的数量为奇数，并且所述多个密封腹点中的密封腹点的数量为奇数。

8.如权利要求7所述的处理腔室，其中存在三个密封节点和三个密封腹点。

9.如权利要求7所述的处理腔室，其中所述主体是闭环主体，其中每个密封腹点被定位为在所述闭环主体的横截面中在直径上与密封节点相对。

10.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述通道的所述密封小结的表面被配置为与所述多个密封腹点的表面形成密封。

11.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述通道的至少两道压痕的表面被配置为与所述多个密封节点的表面形成密封。

12.一种在第一可分离部件与第二可分离部件之间形成密封的方法，所述方法包括以下步骤：

将密封设备压缩在所述第一可分离部件与所述第二可分离部件之间，其中

所述密封设备包括主体、多个密封节点、及多个密封腹点，且所述密封节点及所述密封腹点中的至少一者的一部分具有表面，所述表面被配置为在所述密封设备被压缩时与所述第一可分离部件和所述第二可分离部件中的每一者的至少一个表面形成密封，并且

压缩所述密封设备的步骤使得第一节点在第一密封节点与所述第一可分离部件的表面之间形成第一密封且在第一密封腹点与所述第二可分离部件的表面之间形成第二密封；

分离所述第一可分离部件及所述第二可分离部件；和

相对于所述第一可分离部件重新定向所述密封设备，然后压缩所述密封设备，其中在重新定向所述密封设备之后压缩所述密封设备的步骤使得第二密封节点在所述第二密封节点与所述第一可分离部件的所述表面之间形成第三密封且在第二密封腹点与所述第二可分离部件的所述表面之间形成第四密封。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述主体是用环管形状形成的，且所述密封设备的外表面的第一部分包括第一色彩，所述第一色彩与所述密封设备的所述外表面的第二部分上所见的第二色彩不同。