[发明专利]用于以含碳层对基底覆层的设备有效
| 申请号: | 201980040329.1 | 申请日: | 2019-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN112567068B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
| 发明(设计)人: | A·朱弗雷;M·佩里 | 申请(专利权)人: | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/54;C23C16/46;C23C14/56;C23C16/44;B01J3/03;F16J15/16;F16K3/316 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 侯宇 |
| 地址: | 德国黑*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 含碳层 基底 覆层 设备 | ||
1.一种用于在带状的连续的基底(2)上沉积石墨烯、碳纳米管或其它含碳的层的设备,所述基底(2)通过入口(12)进入反应器壳体(1)并且通过出口(12’)离开反应器壳体(1),所述基底(2)沿传输方向从入口(12)经过布置在所述反应器壳体(1)中的、由控温装置(8)调温的处理区(5)被传输到出口(12’),其中,在所述处理区(5)与入口(12)之间和/或在所述处理区(5)与出口(12')之间布置有阻隔热传递的器件(14,15,16,17),通过所述阻隔热传递的器件减小从所述处理区(5)到入口(12)或出口(12’)的热传递,其中,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)设计为横向于传输方向或者相对于传输方向倾斜地延伸的扁平体,其特征在于,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)具有钻孔(22),杆件或管件穿过所述钻孔,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)固定在所述杆件或管件上。
2.按照权利要求1所述的设备,其特征在于,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)是反射器,所述反射器具有扁平体的形状。
3.按照权利要求1所述的设备,其特征在于,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)由板件制成并且具有狭缝(20)。
4.按照前述权利要求之一所述的设备,其特征在于,所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)设计为扁平体,所述扁平体具有一个横截面面积,该横截面面积填充与所述处理区(5)邻接的入口区域(5')或出口区域(5)的大于75%、大于80%或大于90%的空着的横截面面积,在所述入口区域或出口区域中布置有所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)。
5.按照权利要求3所述的设备,其特征在于,所述狭缝(20)和/或钻孔(22)构造为,使得所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)可移动地支承在所述杆件或管件上和/或被进气口的管件或出气口的管件穿过,和/或所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)由两个部分组成,在这两个部分之间留有用于使所述基底(2)穿过的间隙(19)。
6.按照权利要求1所述的设备,其特征在于,多个阻隔热传递的器件(14,15,16,17)沿传输方向依次布置和/或通过间隔器件彼此保持间距和/或具有彼此不同大小的反射面。
7.按照权利要求1所述的设备,其特征在于,一个或多个阻隔热传递的器件(14,15,16,17)是圆形构造的、一件式或多件式的扁平体,和/或一个或多个阻隔热传递的器件(14,15,16,17)是设计成十字形的扁平体,和/或一个或多个阻隔热传递的器件(14,15,16,17)由两个围绕顶点线(14’,15’)弯曲的扁平体构成,这种扁平体在顶点线(14’,15')上在形成用于使基底(2)穿过的间隙(19)的情况下彼此连接和/或两个扁平体通过连接条(24)彼此连接以便形成用于使基底(2)穿过的间隙(19)。
8.按照权利要求1所述的设备,其特征在于,在所述反应器壳体(1)内的直接与入口(12)邻接的入口区域(5')和/或直接与出口(12’)邻接的出口区域(5)中布置有用于导引基底(2)的多个导引元件,这些导引元件设计为沿传输方向延伸的杆件。
9.按照权利要求8所述的设备,其特征在于,这些导引元件直接与所述入口(12)或出口(12’)邻接地在所述反应器壳体(1)的空腔中延伸。
10.按照权利要求8所述的设备,其特征在于,所述导引元件紧挨着所述阻隔热传递的器件(14,15,16,17)的两个部分之间的间隙(19)布置,和/或所述杆件由阻隔热传递的器件(14,15,16,17)承载。
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