[发明专利]收纳装置及基板加工装置

权利要求书

1.一种收纳装置，其为了从将多个基板以能够抽出的方式层叠而收容的盒中将所述基板抽出以供于处理工序，而对所述盒进行收纳，所述收纳装置的特征在于，具备：

载置部，其供所述盒以能够装卸的方式载置；

移动部，其使所述载置部在所述盒的装卸位置与所述盒的收纳位置之间水平地移动；以及

限制部，其能够升降地支承于载置部，并与在所述载置部载置的所述盒的里侧的端面对置。

2.根据权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，

所述限制部经由连杆机构而被支承部支承，该连杆机构随着升降而使所述限制部相对于所述盒的里侧的端面接近或离开。

3.根据权利要求1或2所述的收纳装置，其特征在于，具备：

挡板，其在所述限制构件的里侧能够升降地支承于载置部；以及

升降机构，其在所述收纳位置使所述挡板升降，

所述限制部一体地被所述挡板支承。

4.根据权利要求3所述的收纳装置，其特征在于，

所述升降机构具备被沿着上下方向驱动的支承构件，

在所述挡板一体地设置有在所述收纳位置处嵌入所述支承构件的联结构件。

5.根据权利要求4所述的收纳装置，其特征在于，

所述收纳装置具备移送辊，该移送辊一体地设置于所述挡板，并用于在所述装卸位置与所述收纳位置之间对所述载置部进行移送，

所述移送辊构成所述联结构件，

当所述载置部移动至所述收纳位置时，所述移送辊嵌入所述支承构件。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的收纳装置，其特征在于，

所述收纳装置具备检测所述基板是否从所述盒飞出的检测机构。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的收纳装置，其特征在于，具备：

第一收纳部，其对第一盒以能够装卸的方式进行收纳；以及

第二收纳部，其对第二盒以能够装卸的方式进行收纳，

在从所述第一盒将所述基板抽出以供于处理工序的期间，将所述第二盒从所述第二收纳部取出。

8.一种基板加工装置，其特征在于，具备：

收纳装置，其为了从将多个基板以能够抽出的方式层叠而收容的盒中将基板抽出以供于处理工序，而对盒进行收纳，该收纳装置具备载置部、移动部以及限制部，该载置部供所述盒以能够装卸的方式载置，该移动部使所述载置部在所述盒的装卸位置与所述盒的收纳位置之间水平地移动，该限制部能够升降地支承于载置部，并与在所述载置部载置的所述盒的里侧的端面对置；

刻划单元，其在基板的表面形成刻划线；

膜层压单元，其将膜贴附在形成有所述刻划线的所述基板的表面；

翻转单元，其以使贴附有所述膜的面成为下侧的方式使所述基板翻转；

截断单元，其对未贴附所述膜的面赋予规定的力而沿着所述刻划线将所述基板分割；以及

搬运部，其将所述基板向规定的位置搬运。