[发明专利]图像取得方法、测量方法以及图像取得装置

说明书

本发明以对象物的面与预定的XY平面垂直，并且与制造时的运送方向相对应的方向与XY平面平行的方式而保持对象物，进而，以对象物的面的法线与X方向所成的角度成为初始的角度的方式而配置对象物(步骤S11)。将平行光自X方向照射至对象物(步骤S12)。摄像部取得透过对象物而投影至屏幕的像作为图像(步骤S13)。其次，通过一面变更对象物的面的法线与X方向所成的角度，一面反复利用摄像部取得图像，而取得多个图像(步骤S13～步骤S15)。

技术领域

本发明涉及一种自薄片状或板状的对象物取得图像的技术，所取得的图像优选为用以取得对象物的厚度或表面形状的变化的特性。

背景技术

自之前以来，已知有连续地制造薄片状或板状的构件的技术。例如，在日本专利特开2010-46798号公报的辊成形装置中，将自模具(die)挤出的熔融树脂一面由辊夹着，一面连续地运送，而使薄片成形。

另一方面，也提出有检查经连续地制造的薄片的各种技术。例如，在日本专利特开2007-211092号公报的检查方法中，是在光源与屏幕之间相对于屏幕倾斜地配置薄片状的薄膜，拍摄屏幕，由此来检查由薄膜表面的平缓的波状的凹凸引起的薄膜的厚度偏差。在日本专利特开平5-180785号公报的缺陷状态检测方法中，公开有如下的技术：相对于透明粘着薄片体的宽度方向倾斜地配置直管荧光管，利用照相机来检测沿薄片的长度方向的条纹状缺陷部的阴影。

然而，当一面连续地运送一面制造薄片或板时，会由于各种因素，而出现沿宽度方向延伸的凸状或凹状的厚度或表面形状的变化。厚度或表面形状的变化既存在被评估为缺陷的情况，也存在作为产品的质量等级而被评估的情况。在任何情况下，均期望取得光的透过或反射的不均的特性，由此使所取得的特性有助于进行产生变化的原因的探究、减少变化的装置调整、是否有减少变化的余地的判断等。

发明内容

本发明是朝向一种图像取得方法，其取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造。

图像取得方法包括如下的步骤：a)以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度成为第一角度的方式而配置所述对象物；b)将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；c)通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像；d)以所述对象物的所述面与所述XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置所述对象物；以及e)通过再次执行所述c)步骤，而取得其他图像。

根据本发明，可取得表示运送方向上的对象物的光的透过或反射的不均的特性的图像。

在优选的形态中，在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

在更优选的形态中，通过一面将所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度仅变更15度以下的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤，而取得多个图像。

本发明也朝向一种测量方法，自薄片状或板状的对象物取得表示所述对象物的特性的测量值，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造。所述测量方法包括如下的步骤：f)通过所述图像取得方法而取得所述图像及所述其他图像；以及g)取得与所述运送方向相对应的方向上的所述图像及所述其他图像的明度的变化。

在优选的形态中，在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转，通过一面变更所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤而取得多个图像，来取得包含所述图像及所述其他图像的多个图像，并在所述g)步骤中，取得所述运送方向上的所述多个图像的明度变化。