[发明专利]图像取得方法、测量方法以及图像取得装置

权利要求书

1.一种图像取得方法，取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述图像取得方法其特征在于，包括如下的步骤：

a)以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度成为第一角度的方式而配置所述对象物；

b)将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；

c)通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像；

d)以所述对象物的所述面与所述XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度成为第二角度的方式而配置所述对象物；以及

e)通过再次执行所述c)步骤，而取得其他图像。

2.根据权利要求1所述的图像取得方法，其特征在于，

在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

3.根据权利要求2所述的图像取得方法，其特征在于，

通过一面将所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度仅变更15度以下的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤，而取得多个图像。

4.一种测量方法，自薄片状或板状的对象物取得表示所述对象物的特性的测量值，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述测量方法其特征在于，包括如下的步骤：

f)通过根据权利要求1所述的图像取得方法而取得所述图像及所述其他图像；以及

g)取得与所述运送方向相对应的方向上的所述图像及所述其他图像的明度的变化。

5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，

在所述d)步骤中，使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转，

通过一面变更所述d)步骤中的所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面反复进行所述d)步骤及所述e)步骤而取得多个图像，来取得包含所述图像及所述其他图像的多个图像，

在所述h)步骤中，取得所述运送方向上的所述多个图像的明度变化。

6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，进而包括如下的步骤：

h)取得所述多个图像的各自的明度变化的最大值。

7.一种图像取得装置，取得来源于薄片状或板状的对象物的图像，所述薄片状或板状的对象物是一面在运送方向上连续地运送一面制造，所述图像取得装置其特征在于，包括：

保持部，以所述对象物的面与预定的XY平面垂直，并且所述运送方向与所述XY平面平行，并且所述对象物的所述面的法线与X方向所成的角度能够相对地变更的方式而保持所述对象物；

照明部，将相对于Y方向平行或收敛或发散的光自所述X方向照射至所述对象物；以及

摄像部，通过取得将透过或反射所述对象物的光投影至屏幕而成的像，或通过接收透过或反射所述对象物的光，而取得图像。

8.根据权利要求7所述的图像取得装置，其特征在于，

所述保持部使所述对象物以与所述XY平面垂直的轴为中心而旋转。

9.根据权利要求8所述的图像取得装置，其特征在于，进而包括：

控制部，对所述摄像部及所述保持部进行控制；且

通过所述控制部的控制，而一面由所述保持部变更所述对象物的所述面的法线与所述X方向所成的角度，一面由所述摄像部反复取得图像。