[发明专利]应变片及其制造方法

说明书

本应变片包括：基材，具有可挠性；以及电阻体，在所述基材上，由包含铬和镍中的至少一者的材料形成；其中，所述电阻体包括作为最下层的第一层、以及层叠在所述第一层上的作为表面层的第二层，所述第二层是密度高于所述第一层的层。

技术领域

本发明涉及一种应变片(strain gauge)及其制造方法。

背景技术

已知一种应变片，其粘贴在测定对象物上，以对测定对象物的应变进行检测。应变片具有用于对应变进行检测的电阻体，作为电阻体的材料，例如使用包含Cr(铬)或Ni(镍)的材料。另外，例如通过对金属箔进行蚀刻，从而将电阻体形成为预定图案(例如参见专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2016-74934号公报

发明内容

本发明要解决的问题

然而，由于在用作电阻体的材料的表面上形成有氧化层等原因，有时会使蚀刻性能降低。当蚀刻性能降低从而无法将电阻体蚀刻成期望的图案时，存在电阻体的电阻值产生偏差从而欠缺灵敏度特性(gauge characteristics)的稳定性的问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于，在应变片中提高灵敏度特性的稳定性。

用于解决问题的手段

本应变片包括：基材，具有可挠性；以及电阻体，在所述基材上，由包含铬和镍中的至少一者的材料形成；其中，所述电阻体包括作为最下层的第一层、以及层叠在所述第一层上的作为表面层的第二层，所述第二层是密度高于所述第一层的层。

发明的效果

根据所公开的技术，能够在应变片中提高灵敏度特性的稳定性。

附图说明

图1是示出根据第1实施方式的应变片的平面图。

图2是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其1)。

图3A是对电阻体的层叠结构进行说明的图(其1)。

图3B是对电阻体的层叠结构进行说明的图(其2)。

图3C是对电阻体的层叠结构进行说明的图(其3)。

图4A是对在电阻体中形成的氧化层进行说明的图(其1)。

图4B是对在电阻体中形成的氧化层进行说明的图(其2)。

图5是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图(其2)。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在各附图中，对相同部件赋予相同符号，并且有时会省略重复的说明。

第1实施方式

图1是示出根据第1实施方式的应变片的平面图。图2是示出根据第1实施方式的应变片的剖面图，示出了沿图1的线A-A的剖面。如图1及图2所示，应变片1具有基材10、电阻体30、以及端子部41。

需要说明的是，在本实施方式中，为了方便起见，在应变片1中，以基材10的设置有电阻体30的一侧作为上侧或一侧，以未设置电阻体30的一侧作为下侧或另一侧。另外，以各部位的设置有电阻体30的一侧的表面作为一个表面或上表面，以未设置电阻体30的一侧的表面作为另一表面或下表面。但是，也可以以上下颠倒的状态来使用应变片1，或者可以以任意角度来布置应变片1。另外，平面图是指从基材10的上表面10a的法线方向来观察对象物的视图，平面形状是指从基材10的上表面10a的法线方向来观察对象物时的形状。