[实用新型]一种防止撞击的石墨舟推车有效
申请号: | 201922483640.3 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211208412U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 张琳;缪爱群 | 申请(专利权)人: | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 撞击 石墨 推车 | ||
本实用新型公开了一种防止撞击的石墨舟推车,包括均匀分布有气孔的车面,所述车面的上安装有框形软性胶垫,框形软性胶垫中设有若干软性支撑横条,软性支撑横条的两端固定连接框形软性胶垫,软性支撑横条避开车面上的气孔。本实用新型的目的是提供一种防止撞击的石墨舟推车接触设计结构,有效地降低石墨舟小推车与石墨舟接触的碰撞力,防止或减少石墨舟舟叶损坏问题,降低生产成本。
技术领域
本实用新型属于晶硅太阳能电池片生产设备技术领域,具体涉及一种防止撞击的石墨舟推车。
背景技术
在晶硅太阳能电池片制备工艺中,目前最常见的是通过管式PECVD在硅片表面沉积钝化膜或者减反射膜。管式PECVD运输硅片的载体是石墨舟,而石墨舟的运输则是通过小推车来完成。现有用来装运石墨舟的推车会在车面上设置气孔,再连接气源通过气孔对石墨舟进行冷却。将石墨舟放置在推车上时,石墨舟与推车之间会产生碰撞。PECVD镀膜结束后石墨舟的温度很高,上面还承载了大量高温的硅片,石墨舟与推车接触瞬间产生的冲击力很容易导致石墨舟舟叶损坏严重。因此在生产过程中需要很小心的将石墨舟转移到推车上,即使这样还是会有一定的石墨舟在搬运过程中造成损伤,影响了石墨舟的使用寿命,增加了成本,同时生产效率受到影响。
发明内容
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种防止撞击的石墨舟推车,包括均匀分布有气孔的车面,所述车面的上安装有框形软性胶垫,框形软性胶垫中设有若干软性支撑横条,软性支撑横条的两端固定连接框形软性胶垫,软性支撑横条避开车面上的气孔。
作为上述技术方案的优选,所述软性支撑横条的上端面高度低于框形软性胶垫上端面的高度。
作为上述技术方案的优选,所述框形软性胶垫位于车面最外侧一圈气孔上,框形软性胶垫的下端面固定连接有若干插杆,插杆分别插入车面最外侧一圈气孔的相应气孔中,插杆与气孔过盈配合。
作为上述技术方案的优选,所述软性支撑横条将框形软性胶垫内部分隔成若干方框单元,框形软性胶垫的侧面设有若干分别连通方框单元的通孔。
作为上述技术方案的优选,所述框形软性胶垫由四条软性胶条依次首尾相接构成,软性胶条由上窄下宽的梯形台部和位于梯形台部上端面的长方体部构成。
作为上述技术方案的优选,所述软性支撑横条的横截面为上窄下宽的梯形。
作为上述技术方案的优选,所述软性支撑横条的上端面与梯形台部的上端面持平。
作为上述技术方案的优选,所述插杆、梯形台部、长方体部和软性支撑横条一体成型。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的目的是提供一种防止撞击的石墨舟推车接触设计结构,有效地降低石墨舟小推车与石墨舟接触的碰撞力,防止或减少石墨舟舟叶损坏问题,降低生产成本。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的截面示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造