[实用新型]一种用于半导体设备的光学检测装置

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，本实用新型所达到的有益效果是：利用可调节的方管支腿配合万向脚轮，既方便了光学检测仪的移动，也提高了光学检测仪的稳定性，且移动操作十分简单，同时显著提升了检测台的防尘性能，提高了检测结果的准确度。

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，特别涉及一种用于半导体设备的光学检测装置，属于半导体检测技术领域。

背景技术

半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，需要对成品进行检测，该检测的设备一般使用光学检测仪，光学检测仪是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备，其基本原理是：机器通过摄像头自动扫描PCB，采集图像，测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出PCB上的缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示或标示出来，供维修人员修整，目前的光学检测仪在使用时仍存在一定的不足之处，首先，目前的光学检测仪虽然在其底部安装有脚轮，但由于脚轮既能够滚动，也能够在水平方向上发生转动，因此就会导致光学检测仪的稳定性较差，不利于实际的使用，其次，光学检测仪的防尘效果较差，空气中的灰尘容易沉积到光学检测仪的检测台上，影响最终的检测结果。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，针对现有的光学检测仪稳定性较差以及防尘效果差的问题提供一种用于半导体设备的光学检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，且定位机构包括定位插销与限位凸块，所述定位插销上套接有第一销管、第二销管与第三销管，所述第一销管焊接连接在方管支腿的侧面，所述第二销管与第三销管均通过第一螺钉固定安装在光学检测仪本体上，所述限位凸块通过第二螺钉固定安装在光学检测仪本体上，所述定位插销的顶部焊接有第一把手杆，所述限位凸块的顶部开设有弧面槽，所述光学检测仪本体的侧面通过第三螺钉固定安装有第二把手杆，且光学检测仪本体上设置有防尘罩，所述防尘罩的顶部一侧设置有铰链，且防尘罩通过铰链活动安装在光学检测仪本体上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防滑座为塑料材质制成，且防滑座通过矩形凹孔套接在方管支腿的底部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防滑座的底端外表面所在平面与万向脚轮最低点所在平面相重合，且防滑座的底端外表面开设有若干互相交叉的防滑槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弧面槽的槽宽大于第一把手杆的横截面直径，且弧面槽的长度小于第一把手杆的长度。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二把手杆的外侧套接有橡胶套管，橡胶套管的外表面开设有若干防滑槽体。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防尘罩的内表面通过紧固螺钉固定安装有若干防尘刷。

本实用新型所达到的有益效果是：