[实用新型]吸附装置及检测设备

权利要求书

1.吸附装置，其特征在于，包括基板和设于所述基板用于吸附待吸附物的吸附板；所述基板的承载面包括中心区域和边缘区域，所述吸附板设于所述边缘区域，所述吸附板包括通气道，所述中心区域形成非吸附区域。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述中心区域的上表面低于所述边缘区域的上表面。

3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述基板边缘区域中具有槽位，所述吸附板嵌入所述槽位中；或者，

所述吸附板设置于所述边缘区域表面。

4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述槽位为环形凹槽，所述吸附板为嵌入所述环形凹槽的环形结构。

5.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括升降组件，所述升降组件配置为至少沿垂直于所述吸附板的吸附面的方向升降；

所述升降组件位于所述基板的中心区域中，或者，位于所述吸附板中。

6.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述槽位的内部设有真空通道，所述通气道和所述真空通道通气连通，所述吸附板上表面的通气道在所述真空通道抽真空时产生吸附力。

7.根据权利要求6所述的吸附装置，其特征在于，所述真空通道包括形成在所述槽位底部的多道环形槽和多道径向槽，所述径向槽连通所述环形槽，所述吸附板覆盖于所述环形槽和径向槽的顶部开口，所述通气道与所述环形槽和径向槽通气连通。

8.根据权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，还包括用于连通所述真空通道和真空设备的连接通道；所述连接通道包括连通所述真空通道的径向通道和连通所述径向通道的纵向通道，所述径向通道经由纵向延伸的孔道与所述环形槽和/或径向槽通气连通。

9.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述通气道为孔或沟槽。

10.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述边缘区域设有用于容纳所述吸附板的槽位，所述槽位侧壁的上表面低于或齐平于所述吸附板的上表面。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的吸附装置，其特征在于，所述基板的承载面呈圆盘形，所述中心区域呈圆形，所述边缘区域呈环面形，所述中心区域的直径为所述承载面直径的1/2～3/4。

12.根据权利要求1至10中任一项所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附板为多孔陶瓷板或多孔金属板。

13.检测设备，包括：

如上述权利要求1至12任一项所述的吸附装置，所述吸附装置用于固定待检测的待吸附物；

检测系统，用于对所述吸附装置固定的待吸附物进行检测；

机械手，用于在检测前将待吸附物放置于所述吸附装置的承载面，并在检测后从所述吸附装置的承载面取走待吸附物。