[实用新型]面扫探头系统和光谱仪

说明书

本公开涉及一种面扫探头系统和光谱仪，面扫探头系统包括：第一壳体，设置有导光孔，以供激发光束照入到第一壳体中，激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统的通光孔；面扫光学模块，安装于第一壳体并且包括反射元件；MEMS模块，固定于第一壳体，并且包括MEMS驱动器和MEMS反射镜，MEMS驱动器驱动MEMS反射镜运动；以及物镜模块，固定于第一壳体并且包括准直透镜，从导光孔照入的激发光束经反射元件反射后朝向MEMS反射镜照射，并之后被MEMS反射镜反射为朝向准直透镜的像侧面照射的角度不同的多个平行光束。通过上述技术方案，本公开提供的面扫探头系统能够实现多点检测扫描，有益于提高光谱仪的操作安全性和检测精度。

技术领域

本公开涉及光谱仪技术领域，具体地，涉及一种面扫探头系统和光谱仪。

背景技术

光谱仪是一种能够将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器，利用光谱仪可测得被检物质反射的光线，通过光谱仪中的光感元件将光信号转换为电信号传递至处理器，处理器将该电信号与光谱仪中的参照数据进行分析对比，从而识别被检物质。

在识别物质的过程中，光谱仪中的激光发射器发出激发光束，经光学元件将激发光束聚焦为一点照射到待测物质后，会散射出不同的拉曼光谱，该拉曼光谱沿光学元件所限定的光路传播至光感元件，由光感元件将光信号转换为电信号传递至处理器，通过对拉曼光谱的分析，可以鉴别不同的物质。

然而，由于激发光束的能量集中，会引燃易燃易爆物质，因此现有的光谱仪在检测易燃易爆物质时，安全性较低；并且由于单个检测点分析，因此光谱仪对混合物质的检测精度较低。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种面扫探头系统和光谱仪，该面扫探头系统能够实现多点检测扫描，有益于提高光谱仪的操作安全性和检测精度。

为了实现上述目的，本公开提供一种面扫探头系统，所述面扫探头系统包括：第一壳体，所述第一壳体设置有导光孔，以供激发光束照入到所述第一壳体中，所述激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统的通光孔；面扫光学模块，所述面扫光学模块安装于所述第一壳体，并且包括反射元件；MEMS模块，所述MEMS模块固定于所述第一壳体，并且包括MEMS驱动器和MEMS 反射镜，所述微机电系统驱动器驱动所述MEMS反射镜运动；以及，物镜模块，该物镜模块固定于所述第一壳体，并且包括准直透镜，该准直透镜具有物侧面和像侧面，所述物侧面为平面或凹面，所述像侧面为凸面，其中，从所述导光孔照入的所述激发光束经所述反射元件反射后朝向所述MEMS 反射镜照射，并之后被所述MEMS反射镜反射为朝向所述准直透镜的像侧面照射的角度不同的多个平行光束。

可选地，所述MEMS模块具有由相垂直的X轴和Y轴限定的基准平面，所述MEMS驱动器驱动所述MEMS反射镜绕所述X轴和所述Y轴振动。

可选地，所述面扫探头系统包括连接模块，所述连接模块包括连接杆，所述连接杆构造有中心轴孔并且具有彼此相对的第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部中的一者用于与所述拉曼检测系统可拆卸地连接，所述第一端部和第二端部中的另一者可拆卸地连接于所述第一壳体，并且使得所述通光孔、所述导光孔与所述中心轴孔同轴设置并连通，以使得所述激发光束从所述通光孔、经所述中心轴孔照入所述导光孔中。

可选地，所述第一壳体设置有定位部，该定位部用于与所述拉曼检测系统的第二壳体的定位配合部相接合，以限制所述面扫探头系统相对于所述拉曼检测系统的姿态。

可选地，所述定位部构造为从所述第一壳体向外延伸的定位柱，该定位柱具有异型截面，所述定位配合部构造为供所述定位柱插入的异型孔。

可选地，所述拉曼检测系统的所述第二壳体上构造有供滤光片插入的装配孔，该装配孔用作所述异型孔。