[实用新型]面扫探头系统和光谱仪

权利要求书

1.一种面扫探头系统，其特征在于，所述面扫探头系统(1)包括：

第一壳体(10)，所述第一壳体(10)设置有导光孔(18)，以供激发光束照入到所述第一壳体(10)中，所述激发光束来自光谱仪的拉曼检测系统(2)的通光孔(22)；

面扫光学模块，所述面扫光学模块安装于所述第一壳体(10)，并且包括反射元件(11)；

MEMS模块(13)，所述MEMS模块(13)固定于所述第一壳体(10)，并且包括MEMS驱动器和MEMS反射镜(131)，所述MEMS驱动器驱动所述MEMS反射镜(131)运动；以及，

物镜模块，该物镜模块固定于所述第一壳体(10)，并且包括准直透镜(12)，该准直透镜(12)具有物侧面和像侧面，所述物侧面为平面或凹面，所述像侧面为凸面，

其中，从所述导光孔(18)照入的所述激发光束经所述反射元件(11)反射后朝向所述MEMS反射镜(131)照射，并之后被所述MEMS反射镜(131)反射为朝向所述准直透镜(12)的像侧面照射的角度不同的多个平行光束。

2.根据权利要求1所述的面扫探头系统，其特征在于，所述MEMS模块(13)具有由相垂直的X轴和Y轴限定的基准平面，所述MEMS驱动器驱动所述MEMS反射镜(131)绕所述X轴和所述Y轴转动。

3.根据权利要求1所述的面扫探头系统，其特征在于，所述面扫探头系统(1)包括连接模块(3)，所述连接模块(3)包括连接杆(31)，所述连接杆(31)构造有中心轴孔(313)并且具有彼此相对的第一端部(311)和第二端部(312)，所述第一端部(311)和所述第二端部(312)中的一者用于与所述拉曼检测系统(2)可拆卸地连接，所述第一端部(311)和第二端部(312)中的另一者可拆卸地连接于所述第一壳体(10)，并且使得所述通光孔(22)、所述导光孔(18)与所述中心轴孔(313)同轴设置并连通，以使得所述激发光束从所述通光孔(22)、经所述中心轴孔(313)照入所述导光孔(18)中。

4.根据权利要求3所述的面扫探头系统，其特征在于，所述第一壳体(10)设置有定位部，该定位部用于与所述拉曼检测系统(2)的第二壳体(20)的定位配合部相接合，以限制所述面扫探头系统(1)相对于所述拉曼检测系统(2)的姿态。

5.根据权利要求4所述的面扫探头系统，其特征在于，所述定位部构造为从所述第一壳体(10)向外延伸的定位柱(101)，该定位柱(101)具有异型截面，所述定位配合部构造为供所述定位柱(101)插入的异型孔(21)。

6.根据权利要求5所述的面扫探头系统，其特征在于，所述拉曼检测系统(2)的所述第二壳体(20)上构造有供滤光片(241)插入的装配孔，该装配孔用作所述异型孔(21)。

7.根据权利要求4所述的面扫探头系统，其特征在于，所述连接模块(3)包括锁紧套(32)，所述连接杆(31)包括位于所述第一端部(311)和所述第二端部(312)之间的主体段(310)，

所述锁紧套(32)具有中心沉孔，该中心沉孔具有大径孔段和小径孔段，所述第一端部(311)构造有径向凸缘部，所述径向凸缘部间隙配合于所述大径孔段中，所述主体段(310)的一部分间隙配合于所述小径孔段中，

所述锁紧套(32)的外周构造有第一外螺纹，所述第一壳体(10)或所述第二壳体(20)构造有连接孔(102)，该连接孔(102)构造有能够与所述第一外螺纹配合的第一内螺纹，

所述连接孔(102)与所述导光孔(18)或所述通光孔(22)一起构造为沉孔结构，且所述连接孔(102)的孔径大于所述导光孔(18)或所述通光孔(22)的孔径，所述径向凸缘部具有抵接面(314)，该抵接面(314)用于抵顶于所述大径孔段和所述小径孔段之间的台阶面(321)，所述抵接面(314)与所述第一端部(311)的端面在轴向上的距离不小于所述大径孔段在所述轴向上的尺寸，以使得所述第一端部(311)的端面抵接于所述连接孔(102)的底壁。