[实用新型]一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置

说明书

本实用新型公开一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置，其中螺纹滚轮包括：滚轮本体；外螺纹，其设于所述滚轮本体的外周面上，所述外螺纹的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米。此结构的一种螺纹滚轮，由于硅片在刻蚀槽内反应过程中会产生气泡，气泡会影响硅片的背抛效果，通过设置螺纹滚轮的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米，即螺纹深度较深，可将气泡切割成较小的气泡而储存在外螺纹的凹陷部内，随着硅片脱离螺纹滚轮后气泡会被释放出来，避免了外螺纹的凹陷部无法储存全部的气泡而造成多余的气泡在硅片上炸开以导致过度刻蚀以及硅片的水膜被震落使得减重下降、自补给量大的情况出现，从而获得较佳的背抛效果。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。

刻蚀是晶体硅太阳电池制备过程中的一道重要工序，在刻蚀工艺中，一般是采用表面开设有螺纹的滚轮来对硅片进行传输，同时利用毛细原理通过螺纹将刻蚀液引到硅片背面，对硅片进行腐蚀。但是，随着对太阳电池的减重量需求的变化，现有技术中的滚轮上的螺纹无法储存全部的气泡而降低了硅片的背抛效果。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的滚轮上的螺纹无法储存全部的气泡的缺陷，从而提供一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置。

一种螺纹滚轮，包括：

滚轮本体；

外螺纹，其设于所述滚轮本体的外周面上，所述外螺纹的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米。

进一步地，所述外螺纹的螺距为大于等于2毫米且小于等于3毫米。

进一步地，所述外螺纹的螺纹升角为大于等于2度且小于等于5度。

进一步地，所述外螺纹为直螺纹或者左旋螺纹或者右旋螺纹。

进一步地，所述滚轮本体的第一端部上设有直齿圆锥齿轮。

进一步地，所述滚轮本体的第一端部上还设有直齿圆柱齿轮，所述直齿圆柱齿轮设于所述直齿圆锥齿轮和所述外螺纹之间。

进一步地，所述滚轮本体的第二端部上设有耐磨套和卡环，所述卡环远离所述外螺纹设置且卡设于所述滚轮本体的第二端部。

进一步地，还包括支撑连接件，所述支撑连接件穿设于所述滚轮本体的第一端部上且位于所述直齿圆柱齿轮和所述外螺纹之间，用于支撑所述滚轮本体。

一种刻蚀装置，其包括：

刻蚀本体，其内设有刻蚀槽；

多个如上述的一种螺纹滚轮，其设于所述刻蚀槽内；

驱动传动组件，其连接于所述螺纹滚轮以使所述螺纹滚轮转动。

进一步地，所述外螺纹为直螺纹，相邻的所述螺纹滚轮的直螺纹的螺纹凹陷部和螺纹凸起部相对设置；或者，所述外螺纹分别为左旋螺纹和右旋螺纹，相邻的所述螺纹滚轮的旋向不同。

本实用新型技术方案，具有如下优点：