[实用新型]一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置有效
申请号: | 201922312720.2 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN211045456U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 吴章平;崔水炜 | 申请(专利权)人: | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 徐律 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 螺纹 滚轮 刻蚀 装置 | ||
1.一种螺纹滚轮,其特征在于,包括:
滚轮本体;
外螺纹,其设于所述滚轮本体的外周面上,所述外螺纹的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米。
2.根据权利要求1所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述外螺纹的螺距为大于等于2毫米且小于等于3毫米。
3.根据权利要求1或2所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述外螺纹的螺纹升角为大于等于2度且小于等于5度。
4.根据权利要求1或2所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述外螺纹为直螺纹或者左旋螺纹或者右旋螺纹。
5.根据权利要求1或2所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述滚轮本体的第一端部上设有直齿圆锥齿轮。
6.根据权利要求5所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述滚轮本体的第一端部上还设有直齿圆柱齿轮,所述直齿圆柱齿轮设于所述直齿圆锥齿轮和所述外螺纹之间。
7.根据权利要求6所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,所述滚轮本体的第二端部上设有耐磨套和卡环,所述卡环远离所述外螺纹设置且卡设于所述滚轮本体的第二端部。
8.根据权利要求7所述的一种螺纹滚轮,其特征在于,还包括支撑连接件,所述支撑连接件穿设于所述滚轮本体的第一端部上且位于所述直齿圆柱齿轮和所述外螺纹之间,用于支撑所述滚轮本体。
9.一种刻蚀装置,其特征在于,其包括:
刻蚀本体,其内设有刻蚀槽;
多个如权利要求1至8中任意一项所述的一种螺纹滚轮,其设于所述刻蚀槽内;
驱动传动组件,其连接于所述螺纹滚轮以使所述螺纹滚轮转动。
10.根据权利要求9所述的一种刻蚀装置,其特征在于,所述外螺纹为直螺纹,相邻的所述螺纹滚轮的直螺纹的螺纹凹陷部和螺纹凸起部相对设置;或者,所述外螺纹分别为左旋螺纹和右旋螺纹,相邻的所述螺纹滚轮的旋向不同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的