[实用新型]一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置有效
| 申请号: | 201922213221.8 | 申请日: | 2019-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN211277945U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
| 发明(设计)人: | 李笑岩;张淳;李健乐;陈震宇;贾洁;王彦君;孙晨光 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00;B24B41/06 |
| 代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 耿树志 |
| 地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 抛光 工艺 半自动 下片 装置 | ||
1.一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:包括工装外壳和升降托架,所述工装外壳一侧开有竖直长条孔,所述长条孔外侧的工装外壳竖直方向上安装有电缸和直线导轨,所述升降托架的驱动端在电缸驱动下沿直线导轨上下移动,所述升降托架上表面前端安装有竖直设置的第一气缸,所述第一气缸上端安装在顶升板上,所述升降托架后端与顶升板后端转动连接,所述顶升板上表面左右两侧均连接竖直向上的插齿板,两个所述插齿板上表面均设有电钢滑台,两个所述电钢滑台均通过滑块共同连接一个插齿,所述顶升板通过第二气缸连接位于顶升板上侧的托盘,所述托盘上表面中心位置安装有中心圆盘,边缘安装有滚子,所述托盘前端安装有衔接坡道,所述插齿上表面放置陶瓷盘,所述中心圆盘位于陶瓷盘的正下方,所述衔接坡道边缘接触陶瓷盘边缘。
2.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述滚子有多个,多个所述滚子到中心圆盘中心的距离相等,且都等于陶瓷盘的半径。
3.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述第二气缸固定端连接在顶升板中心设置,所述第二气缸伸缩端连接托盘。
4.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述升降托架上表面后端及顶升板下表面后端均连接有轴座,且所述轴座连接在同一轴上,使所述升降托架与顶升板后端转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述插齿呈U型。
6.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述顶升板上表面安装有多个均匀分布的直线轴承,多个所述直线轴承均穿过托盘。
7.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述升降托架的驱动端设有滑块和丝杆连接块,所述升降托架通过滑块卡接在直线导轨上,且通过丝杆连接块套接在电缸外侧,使升降托架沿直线导轨上下运动。
8.根据权利要求1所述的一种基于无蜡抛光工艺的半自动下片装置,其特征在于:所述陶瓷盘上放置抛光垫,所述抛光垫上设有多个抛光片凹槽,每个所述抛光片凹槽边缘位置均设有槽孔。
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