[实用新型]用于减轻离子源供气管路打火的装置与离子源氢气管路

权利要求书

1.一种用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，包括:

浮栅电极头(10)，具有腔壁(11)，所述腔壁(11)开设有第一气孔(12)，用以连通第一气体管路(31)，所述浮栅电极头(10)的所述腔壁(11)上设置有若干个等高阵列的浮栅电极柱(13);及，

接地极座(20)，具有接地面(21)，所述接地面(21)开设有第二气孔(22)，用以连通第二气体管路(32)，并且所述接地极座(20)与所述浮栅电极头(10)之间设置有管路绝缘壳(40);

其中，经由所述管路绝缘壳(40)结合所述接地极座(20)与所述浮栅电极头(10)，使所述浮栅电极柱(13)容纳于由所述管路绝缘壳(40)、所述接地面(21)与所述腔壁(11)构成的腔室中，在所述浮栅电极柱(13)的悬浮端部(14)与所述接地极座(20)的接地面(21)之间形成有促使打火的间隙距离。

2.根据权利要求1所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述第二气体管路(32)为不直接电连接所述接地面(21)的接地连接。

3.根据权利要求1所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，在所述浮栅电极柱(13)的悬浮端部(14)与所述接地极座(20)的接地面(21)之间形成的间隙距离小于所述第二气体管路(32)的管内径。

4.根据权利要求1所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述浮栅电极柱(13)的间隙大于在所述浮栅电极柱(13)的悬浮端部(14)与所述接地极座(20)的接地面(21)之间形成的间隙距离且小于所述第一气体管路(31)的管内径。

5.根据权利要求1所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述浮栅电极柱(13)在所述腔壁(11)上配置为等间距的四方矩阵排列或六方矩阵排列。

6.根据权利要求1所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述浮栅电极柱(13)为半浮栅连接或无连接外部电源。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述腔壁(11)与所述浮栅电极柱(13)导电连接而具有相同电位。

8.根据权利要求7所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置，其特征在于，所述第一气孔(12)位于邻近所述腔壁(11)的第一角隅(51)，所述第二气孔(22)位于邻近所述接地面(21)的第二角隅(52)，所述第一角隅(51)与所述第二角隅(52)相互偏离。

9.一种离子源氢气管路，其特征在于，包括一种如权利要求1-8中任一项所述的用于减轻离子源供气管路打火的装置。

10.根据权利要求9所述的离子源氢气管路，其特征在于，所述第一气体管路(31)连接至负氢离子源设备。