[实用新型]镀膜装置的镀膜系统

权利要求书

1.一种镀膜装置的镀膜系统，用于一镀膜装置为至少一待镀膜产品提供一镀膜空间，其特征在于，所述镀膜装置的镀膜系统在所述镀膜空间内为所述待镀膜产品完成类金刚石涂层镀膜，其中所述镀膜空间为六面立方体结构且能够被密闭。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜系统包括一镀膜单元，所述镀膜空间形成于所述镀膜单元用于容纳所述待镀膜产品并使所述待镀膜产品在所述镀膜空间内完成类金刚石涂层的镀膜过程。

3.根据权利要求2所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜单元包括一主体结构和一门扇，所述门扇被转动连接于所述主体结构以使所述门扇能够相对于所述主体结构对所述镀膜空间进行开启或关闭。

4.根据权利要求3所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜单元进一步包括至少一密封结构，所述密封结构被固定设置于所述主体结构并位于所述主体结构与所述门扇的连接处，从而提高所述门扇与所述主体结构的连接紧密型，以此提高所述镀膜空间的密封性。

5.根据权利要求4所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述密封结构为一燕尾槽密封圈。

6.根据权利要求5所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜单元为不锈钢材料制成。

7.根据权利要求4或6所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜空间的内壁表面粗糙度小于2.0um。

8.根据权利要求7所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜空间的内壁为镜面加工，从而提高所述镀膜空间的内壁的表面光滑度。

9.根据权利要求8所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜空间的内壁表面粗糙度为0.8um。

10.根据权利要求5所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜单元进一步包括至少一预留窗口，所述预留窗口被固定设置于所述主体结构以便于能够通过所述预留窗口安装ICP。

11.根据权利要求10所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述主体结构为不锈钢材料制成，所述预留窗口为透明玻璃制成，且所述主体结构与所述预留窗口为一体密封连接。

12.根据权利要求11所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜装置的镀膜系统进一步包括至少一通电单元，所述通电单元被设置于所述镀膜装置的所述镀膜单元并能够为所述镀膜空间内的所述待镀膜产品提供电场以产生等离子体。

13.根据权利要求12所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述通电单元的一端与一电源电性连接，所述通电单元的另一端被设置于所述镀膜单元并能够为所述镀膜空间提供电场。

14.根据权利要求11或13所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜装置的镀膜系统进一步包括至少一负压产生单元，所述负压产生单元的一端连接至少一动力元件，另一端被设置于所述镀膜单元并与所述镀膜空间相连通，从而在所述动力元件的作用下为所述镀膜空间提供负压环境。

15.根据权利要求14所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述动力元件为一真空泵。

16.根据权利要求11或15所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述镀膜装置的镀膜系统进一步包括至少一进气系统，所述进气系统的一端与一气源连通，且所述进气系统被设置于所述镀膜装置并与所述镀膜空间相通从而将所述气源提供的镀膜气体输送至所述镀膜空间。

17.根据权利要求16所述的镀膜装置的镀膜系统，其中所述待镀膜产品被放置于一支撑单元，所述支撑单元被活动设置于所述镀膜空间内，从而通过所述支撑单元为所述待镀膜产品提供支撑力。