[实用新型]一种橡胶吸嘴

说明书

本实用新型公开了一种橡胶吸嘴，涉及半导体工业技术领域。本实用新型的橡胶吸嘴，在吸嘴与吸嘴连接头的连接处设置有夹持结构，该夹持结构可以紧紧抓住吸嘴连接头上的凹槽，有效防止吸嘴从吸嘴连接头上脱落；本申请中的吸嘴的真空室呈斗帽状，可以延长吸嘴与物品的接触尖端，使得吸嘴在拾取物品时，能够更牢固地吸附在物品上，防止物品脱落，也防止吸附不牢的情况出现。

技术领域

本实用新型涉及半导体工业技术领域，尤其涉及半导体工业中常用的取放元件技术领域，更具体地说涉及一种橡胶吸嘴。

背景技术

橡胶吸嘴是半导体工业中常用的取放元件的工具。目前的吸嘴设计存在两个主要问题：其一，目前设计的吸嘴与吸嘴连接头之间的相互作用主要依靠摩擦作用，即将吸嘴套在吸嘴连接头上，这种摩擦作用是相当松散且不稳定的，在某些情况下，吸嘴在机器运转时会发生脱落，造成机组或机器部件的损坏；其二，在半导体工业中，介质(如托盘、胶带、载体等)和橡胶吸嘴不能达到100％的平行，这是由于介质本身翘屈或单位位置变化导致的，从而引起机组与吸嘴之间的真空泄漏，引发拾取误差，尤其是涉及到尺寸较大的机组时，这种现象尤为明显。

现有技术中，为了解决上述第一个问题，避免吸嘴从吸嘴连接头上脱落，一般是利用橡胶吸嘴自身的弹性，在橡胶吸嘴安装孔内径一定的情况下，尽可能的将吸嘴连接头的尺寸做大，使得橡胶吸嘴在套装在吸嘴连接头上时达到较大的弹性形变，从而利用橡胶吸嘴安装孔的弹性形变所形成的弹力将吸嘴固定在吸嘴连接头上，增加吸嘴与吸嘴连接头之间的作用力；为了解决上述第二个问题，避免出现拾取误差，一般是采用柔性吸嘴，采用柔性吸嘴之后，在拾取介质时，柔性吸嘴可发生形变，自动补偿与介质件的间隙，从而减少拾取误差。

针对上述现有技术中采取的方式，增加吸嘴保持器的尺寸虽然可以提高吸嘴与吸嘴连接头之间的相互作用力，但是在介质重量较大时，仍然会出现吸嘴从吸嘴连接头上脱落的情况。而采用柔性吸嘴的方案，一方面出于同一橡胶吸嘴上不可能存在两种不同材质橡胶的要求，若在吸嘴吸取段采用柔性橡胶，则其固定端(吸嘴与吸嘴连接头之间的固定)也采用相同材质的柔性橡胶，就会更易导致吸嘴的脱落；另一方面，该吸嘴是应用在半导体工业中，需满足静电放电防护要求，橡胶吸嘴供应商通常会添加导电填料来控制表面电阻，从而大大限制了吸嘴的柔软性，导致吸嘴的柔软性不能满足要求，仍会导致无法与装置完全对准而出现拾取误差。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中存在的缺陷和不足，本申请提供了一种橡胶吸嘴，本实用新型的发明目的在于解决现有技术中吸嘴易脱落，吸嘴在拾取介质时无法与介质对准造成拾取失败和拾取误差的问题。本实用新型的自对准橡胶吸嘴，在吸嘴与吸嘴连接头的连接处设置有夹持结构，该夹持结构可以紧紧抓住吸嘴连接头上的凹槽，有效防止吸嘴从吸嘴连接头上脱落；本申请中的吸嘴的真空室呈斗帽状，可以延长吸嘴与物品的接触尖端，使得吸嘴在拾取物品时，能够更牢固地吸附在物品上，防止物品脱落，也防止吸附不牢的情况出现。

依照本实用新型的一种橡胶吸嘴，包括与吸嘴连接头相连的连接部和吸附介质的真空吸附部，其特征在于：所述连接部上与吸嘴连接头外侧壁接触的内侧壁上设置有凸缘，所述凸缘由连接部向吸嘴连接头内部延伸，与吸嘴连接头侧壁上的凹槽相适配；所述连接部与真空吸附部之间设置有阻隔橡胶层，阻隔橡胶层上开设有通孔，通孔将连接部与真空吸附部的空间连通；所述真空吸附部以垂直于连接部中心线的方向从连接部向外沿伸，且真空吸附部下端边沿的内侧边比连接部外侧边沿的外侧边更远离连接部的中心线。

依照本实用新型的一种橡胶吸嘴，其使用方式是，将吸嘴连接部套在吸嘴连接头上，且吸嘴连接部的内壁侧上的凸缘嵌入到吸嘴连接头外侧壁上的凹槽中，使得凸缘与凹槽配合形成夹持结构。该夹持结构将原有的吸嘴与吸嘴连接头之间的过盈套结，变为夹持嵌入式连接，将原有的吸嘴与吸嘴连接头之间仅仅依靠其摩擦力连接在一起，变为了还提供一定的夹持力，使得吸嘴与吸嘴连接头的连接更加牢固，不会出现吸嘴从吸嘴连接头上脱落的情况。