[实用新型]FOF工艺支撑定位机构与FOF工艺定位装置

权利要求书

1.一种FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，包括支撑部件及连接所述支撑部件的吸附部件，所述支撑部件的一侧开设有凹槽，所述吸附部件连接于所述凹槽的槽底，所述吸附部件的相对两侧分别与所述凹槽的侧壁之间具有空间。

2.根据权利要求1所述的FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，所述吸附部件的顶面开设有吸附孔，所述支撑部件的侧面开设有连通所述吸附孔的第一抽气孔。

3.根据权利要求1所述的FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，所述吸附部件远离所述凹槽的槽底的一侧凸出于所述支撑部件开设所述凹槽的一侧。

4.根据权利要求1所述的FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，所述吸附部件连接于所述凹槽的中部。

5.根据权利要求1所述的FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，所述FOF工艺支撑定位机构还包括定位模板，所述定位模板的顶面开设有真空孔，所述定位模板的侧面开设有连通所述真空孔的第二抽气孔，所述定位模板的一侧连接所述吸附部件的一侧。

6.根据权利要求5所述的FOF工艺支撑定位机构，其特征在于，所述支撑部件与所述定位模板之间具有间隙。

7.一种FOF工艺定位装置，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的FOF工艺支撑定位机构。

8.根据权利要求7所述的FOF工艺定位装置，其特征在于，所述FOF工艺装置还包括支持座与拍摄部件，所述支撑部件安装于所述支持座上，所述支持座开设有拍摄槽，所述吸附部件、拍摄槽与所述凹槽之间形成拍摄通道，所述拍摄部件安装于所述拍摄通道的下方。

9.根据权利要求7所述的FOF工艺定位装置，其特征在于，所述FOF工艺定位装置还包括定位模板，所述定位模板的顶面开设有真空孔，所述定位模板的侧面开设有连通所述真空孔的第二抽气孔，所述定位模板的一侧连接所述吸附部件的一侧。

10.根据权利要求9所述的FOF工艺定位装置，其特征在于，所述支撑部件与所述定位模板之间具有间隙。