[实用新型]碳化硅干法静止辐照专用装置

说明书

本实用新型公开了碳化硅干法静止辐照专用装置，包括水箱组件，所述水箱组件的顶部设有耐火砖，所述耐火砖的表面开设有耐火圆孔，所述水箱组件的一侧端部平面底部设有进水管道，所述水箱组件的另一端顶部设有出水管道。本实用新型中，采用上下分层的方式，上层为耐火砖和耐火圆孔，圆孔边缘磨圆，便于碳化硅装取，提高设备的运转效率，下层为水箱，避免线束过热受损，增加搅动主轴，实现整个水箱内部水流更叫的快速，提高单位时间水流带走的热量，加强散热效率。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅辐照设备领域，尤其涉及碳化硅干法静止辐照专用装置。

背景技术

碳化硅已经逐步成为我国高科技领域的一张靓丽的明信片，通过加速器电子束的辐照提高其电阻率，碳化硅通常要求的电子注入量为,只能通过静止辐照实现，辐照时既要保证碳化硅始终处于高温状态，又要保证高温不能伤害到束下传输装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的碳化硅干法静止辐照专用装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：碳化硅干法静止辐照专用装置，包括水箱组件，所述水箱组件的顶部设有耐火砖，所述耐火砖的表面开设有耐火圆孔，所述水箱组件的一侧端部平面底部设有进水管道，所述水箱组件的另一端顶部设有出水管道。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述水箱组件包括水箱主壳，所述水箱主壳的内腔中部水平设有搅动主轴，所述搅动主轴和水箱主壳之间嵌合有润滑轴套，所述搅动主轴的一端套接有传动联轴器，所述传动联轴器的另一侧设有主减速器，所述主减速器的底部设有主动电机。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述耐火圆孔的孔深为15mm，所述耐火圆孔的孔边缘倒角处理，倒角角度为45°，且耐火圆孔的边缘磨圆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述搅动主轴的螺旋线方向和进水管道到出水管道的流动方向一致，且搅动主轴表面的螺旋线为双螺旋，螺旋表面开设有顺旋转方向的浅槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述主减速器采用二级齿轮减速器，且主减速器的输入轴和输出轴轴线相互垂直，所述主减速器的减速比为18。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述主动电机采用三相异步电动机，且主动电机的三相异步电机为鼠笼式电机，所述主动电机的额定转速为740rpm。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述耐火砖采用氧化铝压铸而成，且耐火砖表面的耐火圆孔均为氧化铝一体压铸而成。

有益效果

1、本实用新型中，采用上下分层的方式，上层为耐火砖和耐火圆孔，圆孔边缘磨圆，便于碳化硅装取，提高设备的运转效率，下层为水箱，避免线束过热受损。

2、本实用新型中，增加搅动主轴，实现整个水箱内部水流更叫的快速，提高单位时间水流带走的热量，加强散热效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的碳化硅干法静止辐照专用装置的等轴侧视图；

图2为本实用新型提出的碳化硅干法静止辐照专用装置的正视图；

图3为本实用新型提出的碳化硅干法静止辐照专用装置的内部结构图。

图例说明：