[实用新型]检测组件、检测装置以及检测系统

说明书

本申请涉及靶材焊接技术领域，尤其是涉及一种检测组件、检测装置以及检测系统。一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构和探头，探头能够吸附于移动机构上，且移动机构用于带动探头在待检测件上方移动。本申请中探头吸附于移动机构上，即探头在所述移动机构上的位置可调，具有较强的灵活性，保证探头始终与待检测件的位置对应，即使检测更加精准。

技术领域

本申请涉及靶材焊接技术领域，尤其是涉及一种检测组件、检测装置以及检测系统。

背景技术

靶材由背板和溅射靶材通过焊接进行结合，焊接结合率及内部缺陷是检验靶材的重要指标，如果在溅射中发生脱焊或者因焊接不良导致的漏焊料等情况，将污染甚至磕伤客户贵重机台；然而，目前用于靶材焊接结合率的检测机构上的检测探头的探头位置可调性差、灵活性不够，不便于对待检测靶材进行检测。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种检测组件、检测装置以及检测系统，在一定程度上解决现有技术中靶材焊接结合率检测机构中探头位置可调性差、灵活性不够，不便于对待检测靶材进行检测的技术问题。

本申请提供了一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，包括移动机构和探头，所述探头能够吸附于所述移动机构上，且所述移动机构用于带动所述探头在待检测件上方移动。

在上述技术方案中，进一步地，所述探头上设置有磁性件，所述移动机构上设置有吸附件，所述磁性件与所述吸附件能够相互吸附，以使所述探头吸附在所述移动机构上。

在上述技术方案中，进一步地，所述吸附件为电磁铁，所述磁性件为磁性铁板。

在上述技术方案中，进一步地，所述移动机构包括定位梁和滑轨，所述滑轨沿第一方向延伸，所述定位梁沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向相垂直；所述吸附件设置于所述定位梁上，所述定位梁滑动设置于所述滑轨上，以使吸附于所述定位梁上的所述探头能够在所述待检测件上方移动。

在上述技术方案中，进一步地，所述探头的数量为多个，多个所述探头沿所述定位梁的延伸方向间隔设置，且与所述待检测件一一对应设置，多个所述探头能够分别同时对对应的所述待检测件检测。

本申请还提供一种检测装置，包括上所述的检测组件和检测箱；

所述检测箱用于容纳检测介质和所述待检测件；所述检测组件置于所述检测箱上，且所述探头朝向所述待检测件。

在上述技术方案中，进一步地，还包括承托件，所述承托件设置在所述检测箱内，所述承托件上置有待检测件，所述承托件用于承托所述待检测件。

在上述技术方案中，进一步地，还包括吊装件，所述吊装件设置在所述承托件的两侧，所述吊装件能够驱动所述承托件沿竖直方向移动，以使所述承托件和所述待检测件浸入所述检测箱内的检测介质中或脱离所述检测箱内的检测介质。

在上述技术方案中，进一步地，所述承托件上设置有定位件，所述定位件沿所述待检测件的长度方向和宽度方向中的至少一个方向设置，所述定位件用于将所述待检测件固定在所述承托件上。

本申请还提供一种检测系统，包括上述的检测装置。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，其中，检测组件包括移动机构和探头，探头能够吸附于移动机构上，利用移动机构能够带动探头在待检测件上方移动，进而检测溅射靶材与背板的焊接结合率，更进一步地，探头吸附于移动机构上，即探头在所述移动机构上的位置可调，具有较强的灵活性，保证探头始终与待检测件的位置对应，即使检测更加精准。

更具体地，本申请中相邻两个探头之间的距离能够调节，相比于现有技术中，探头固定设置在移动机构上而言，本申请更具有实用性。