[实用新型]检测组件、检测装置以及检测系统

权利要求书

1.一种检测组件，用于检测溅射靶材与背板的焊接结合率，其特征在于，包括移动机构和探头，所述探头能够吸附于所述移动机构上，且所述移动机构用于带动所述探头在待检测件上方移动。

2.根据权利要求1所述的检测组件，其特征在于，所述探头上设置有磁性件，所述移动机构上设置有吸附件，所述磁性件与所述吸附件能够相互吸附，以使所述探头吸附在所述移动机构上。

3.根据权利要求2所述的检测组件，其特征在于，所述吸附件为电磁铁，所述磁性件为磁性铁板。

4.根据权利要求2所述的检测组件，其特征在于，所述移动机构包括定位梁和滑轨，所述滑轨沿第一方向延伸，所述定位梁沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向相垂直；所述吸附件设置于所述定位梁上，所述定位梁滑动设置于所述滑轨上，以使吸附于所述定位梁上的所述探头能够在所述待检测件上方移动。

5.根据权利要求4所述的检测组件，其特征在于，所述探头的数量为多个，多个所述探头沿所述定位梁的延伸方向间隔设置，且与所述待检测件一一对应设置，多个所述探头能够同时对对应的所述待检测件检测。

6.一种检测装置，其特征在于：包括权利要求1-5中任意一项所述的检测组件和检测箱；

所述检测箱用于容纳检测介质和所述待检测件；所述检测组件置于所述检测箱上，且所述探头朝向所述待检测件。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，还包括承托件，所述承托件设置在所述检测箱内，用于承托所述待检测件。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，还包括吊装件，所述吊装件设置在所述承托件的两侧，所述吊装件能够驱动所述承托件沿竖直方向移动，以使所述承托件和所述待检测件浸入所述检测箱内的检测介质中或脱离所述检测箱内的检测介质。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述承托件上设置有定位件，所述定位件沿所述待检测件的长度方向和宽度方向中的至少一个方向设置，所述定位件用于将所述待检测件固定在所述承托件上。

10.一种检测系统，其特征在于，包括权利要求6-9中任意一项所述的检测装置。