[实用新型]平面结构的GCT芯片有效
申请号: | 201921566314.2 | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN210926024U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 赵彪;刘佳鹏;周文鹏;曾嵘;余占清;陈政宇 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L21/332 |
代理公司: | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人: | 张陆军;张迎新 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面 结构 gct 芯片 | ||
1.一种平面结构的GCT芯片,包括引出阳极的P+发射极、与所述P+发射极贴合的n+缓冲层、与所述n+缓冲层相贴合的n漂移区,其特征在于,所述GCT芯片结构还包括:
第一P+区域,与所述n漂移区相贴合;
第二P+区域,与所述第一P+区域相贴合;以及
n+发射极,与所述第二P+区域连接,所述n+发射极引出阴极,所述第二P+区域引出门极,所述阴极与所述门极具有高度差,所述高度差的范围为0-10μm。
2.如权利要求1所述的GCT芯片,其特征在于,还包括p基区,所述p基区与所述n漂移区相贴合且位于所述第一P+区域及所述n漂移区之间,所述第一P+区域与所述p基区相贴合。
3.如权利要求1所述的GCT芯片,其特征在于,所述第二P+区域的厚度与所述n+发射极的厚度相同。
4.如权利要求1-3中任一项所述的GCT芯片,其特征在于,所述第一P+区域与所述n漂移区的连接处具有波浪形状。
5.如权利要求1所述的GCT芯片,其特征在于,所述阴极与所述门极位于同一平面。
6.如权利要求4所述的GCT芯片,其特征在于,所述波浪形结构的中间平面向所述第一P+区域凸起,凸起的高度为小于40μm。
7.如权利要求1所述的GCT芯片,其特征在于,所述第二P+区域的厚度为1-30μm。
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