[实用新型]溅镀下料机构

权利要求书

1.一种溅镀下料机构，其特征在于，包括：

第一固定架，所述第一固定架包括上面板和下面板；

多个吸盘，所述多个吸盘与所述下面板连接，所述多个吸盘等距均匀地排布在同一平面上；

多个真空发生器，每个所述吸盘均与一个所述真空发生器连接；

流量控制阀，所述多个真空发生器均与所述流量控制阀连接；

旋转组件，所述旋转组件包括旋转驱动器、传动件和轴承，所述轴承固定设置于所述上面板上，所述旋转驱动器借助所述传动件与所述轴承连接；

升降组件，所述升降组件包括升降驱动器、滑块和滑轨，所述升降驱动器与所述滑块传动连接，所述滑块活动设置于所述滑轨上，所述旋转组件与所述滑块固定连接。

2.根据权利要求1所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述上面板下方固定设置有快速接头和连接板，所述连接板内部设置有空腔，所述快速接头与所述空腔连通，每个所述快速接头均通过柔性管与一个所述真空发生器连接，所述轴承内部设置有真空管道，所述真空管道的一端与所述空腔连通，另一端与所述流量控制阀连通。

3.根据权利要求1所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述旋转驱动器固定设置于第二固定架上，所述第二固定架周侧设置有多个槽形开关，所述第一固定架的上表面设置有挡光件，当所述第一固定架转动时，所述挡光件从所述槽形开关内划过。

4.根据权利要求1所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述下面板上固定设置有套管，所述吸盘借助连接管与所述真空发生器连接，所述连接管活动地设置于所述套管内。

5.根据权利要求4所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述套管内上下端设置有限位凸起，所述套管内设置有弹性件，所述弹性件套接于所述连接管外。

6.根据权利要求1所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述旋转驱动器为伺服电机，所述传动件为同步带，所述伺服电机通过所述同步带与所述轴承传动连接。

7.根据权利要求3所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述升降组件包括固定板、丝杆和丝杆固定座，所述滑轨固定设置于所述固定板上，所述滑块活动套接于所述滑轨上，所述第二固定架与所述滑块固定连接，所述丝杆固定座设置于所述固定板上，所述丝杆的一端与所述升降驱动器传动连接，另一端与所述丝杆固定座连接，所述滑块与所述丝杆传动连接。

8.根据权利要求7所述的溅镀下料机构，其特征在于：所述固定板一侧设置有用于走线的坦克链。