[实用新型]晶片翻转转移装置

说明书

本实用新型提供了一种晶片翻转转移装置，涉及晶片加工领域。目前，人工将夹具盘内的晶片转移至物料盘内时，若操作不当会导致晶片散落，使晶片污染或受损。本实用新型的支架上滑动设有吸片机构和夹片机构，夹片机构上还设有伺服旋转机构，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构的作用下实现翻转，完成对晶片的翻转转移，采用机械设备代替人工避免晶片的污染或损坏。

技术领域

涉及晶片加工领域，具体涉及一种晶片翻转转移装置。

背景技术

石英晶体谐振器是用压电石英(即水晶)制成的压电器件，它不仅具有高度稳定的物理化学性能，而且弹性振动损耗极小。与其它电子元器件相比，压电石英晶体还有着很高的频率稳定度和高Q值，使其成为稳定频率和选择频率的重要元器件。镀膜工序是保证晶片谐振频率能够满足使用要求的重要工序。为满足频率要求要确保镀膜后晶片表面无异物，无划痕。

目前采用人工将镀膜后的晶片从镀膜夹具盘中翻转到点胶物料盘内，操作过程中先将镀膜夹具盘放置在操作台上，气泵向下吸气，将镀膜夹具盘吸附在操作台表面，再将镀膜夹具盘上的上掩膜板取下，把点胶物料盘反置在镀膜夹具表面，整体翻转180°，将晶片翻到点胶物料盘内，在此过程中容易出现人工操作不当，例如在取上掩膜板时造成晶片散乱、掉落或是在翻转过程中掉落等问题，不但可能污染或损坏晶片，并且使用镊子重新夹取晶片的过程中，会造成污染或损坏晶片，亟需解决。

发明内容

本实用新型的目的是开发一种以机械代替人工，避免晶片在翻转转移过程中掉落，结构简单的晶片翻转转移装置。

本实用新型通过如下的技术方案实现：

晶片翻转转移装置，包括作为支撑件的支架，所述支架上滑动设有吸片机构和夹片机构，所述夹片机构上还设有伺服旋转机构，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构的作用下实现翻转，完成对晶片的翻转转移，采用机械设备代替人工避免晶片的污染或损坏。

进一步的，所述吸片机构下部设有操作台，所述操作台上部滑动设有第一支架，所述吸片机构设于第一支架上。

进一步的，所述操作台上设有若干通孔，所述操作台下部设有气泵。

进一步的，所述吸片机构包括滑动设于第一支架上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸下部设有吸盘。

进一步的，所述操作台两侧分别设有一个升降机构，所述升降机构上分别设有一个放置夹具盘或物料盘的提篮。

进一步的，所述提篮包括两个竖向布置的侧板，所述侧板在竖向上等间距设有多个支撑台，夹具盘或物料盘两端分别位于两侧板的支撑台上。

进一步的，所述升降机构上部分别滑动设有第二支架，所述第二支架上设有夹片机构。

进一步的，所述夹片机构包括滑动设于第二支架上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸活塞杆上设有伺服旋转机构，所述伺服旋转机构上设有夹持机械手。

进一步的，所述夹持机械手包括两个与伺服旋转机构转动连接的夹持板，两个所述夹持板之间设有微型气缸，所述夹持板上转动设有传动杆，所述传动杆的另一端与微型气缸的活塞杆转动连接。

进一步的，所述支架上设有同步带以及驱动同步带运动的伺服系统，所述吸片机构和夹持机构皆设于同步带上。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过吸片机构、夹持机构以及伺服旋转机构的配合，实现机械代替人工自动将夹具盘上的上掩膜板吸取并转移，并且将夹具盘和物料盘翻转，使晶片落入物料盘内，避免发生晶片掉落而导致晶片污染或损坏。

附图说明