[实用新型]晶片翻转转移装置

权利要求书

1.晶片翻转转移装置，其特征在于，包括：

支架，其为支撑件；

吸片机构，其滑动设于支架上；

夹片机构，其滑动设于支架上；

伺服旋转机构（11），其设于夹片机构上；

其中，夹片机构将夹具盘和物料盘夹持运输，吸片机构将夹具盘上的上掩膜板吸取转移，夹片机构将夹具盘与物料盘夹住并在伺服旋转机构（11）的作用下实现翻转。

2.根据权利要求1所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述吸片机构下部设有操作台（1），所述操作台（1）上部滑动设有第一支架（2），所述吸片机构设于第一支架（2）上。

3.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述操作台（1）上设有若干通孔，所述操作台（1）下部设有气泵（6）。

4.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述吸片机构包括滑动设于第一支架（2）上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸下部设有吸盘（5）。

5.根据权利要求2所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述操作台（1）两侧分别设有一个升降机构，所述升降机构上分别设有一个放置夹具盘或物料盘的提篮（16）。

6.根据权利要求5所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述提篮（16）包括两个竖向布置的侧板（160），所述侧板（160）在竖向上等间距设有多个支撑台（162），夹具盘或物料盘两端分别位于两侧板（160）的支撑台（162）上。

7.根据权利要求5所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述升降机构上部分别滑动设有第二支架（7），所述第二支架（7）上设有夹片机构。

8.根据权利要求7所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述夹片机构包括滑动设于第二支架（7）上的结构板，所述结构板上设有气缸，所述气缸的活塞杆上设有伺服旋转机构（11），所述伺服旋转机构（11）上设有夹持机械手。

9.根据权利要求8所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述夹持机械手包括两个与伺服旋转机构（11）转动连接的夹持板（12），两个所述夹持板（12）之间设有微型气缸（14），所述夹持板（12）上转动设有传动杆（13），所述传动杆（13）的另一端与微型气缸（14）的活塞杆转动连接。

10.根据权利要求1~9任意一项所述的晶片翻转转移装置，其特征在于，所述支架上设有同步带以及驱动同步带运动的伺服系统，所述吸片机构和夹持机构皆设于同步带上。