[实用新型]一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置有效
申请号: | 201921438376.5 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN210120149U | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;刘庆威 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 殷海霞 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 搬运 花篮 升降 组件 装置 | ||
本申请提供了一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置,所述的升降组件包括升降支撑架、相互平行的沿上下方向设置的两条升降轨道、能够沿升降轨道滑动的升降件,所述的升降件包括沿所述的升降轨道滑动的升降滑块、与所述的升降滑块固定连接的升降板、安装在所述的升降板上的移动块,所述的升降组件还包括一安装在所述的升降支撑架顶部的升降驱动电机、被所述的升降驱动电机驱动的螺杆,所述的螺杆与所述的移动块螺纹连接。本申请的一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置,在升降板上安装有旋转电机,使被夹持的花篮能够实现旋转,使花篮的搬运更加灵活。
技术领域
本申请涉及一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置。
背景技术
硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。在硅片加工过程中,需要将硅片输送至工作位置,加工完成后再下料。
在现有技术中,有一种用于放置硅片的花篮,硅片的生产加工过程中,需要将花篮从一个工位搬运至另一个工位。现有的搬运装置往往只有三轴涉及,缺乏灵活性。
发明内容
本申请要解决的技术问题是提供一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置。
为了解决上述技术问题,本申请提供了一种用于搬运花篮的升降组件,所述的升降组件包括升降支撑架、相互平行的沿上下方向设置的两条升降轨道、能够沿升降轨道滑动的升降件,所述的升降件包括沿所述的升降轨道滑动的升降滑块、与所述的升降滑块固定连接的升降板、安装在所述的升降板上的移动块,所述的升降组件还包括一安装在所述的升降支撑架顶部的升降驱动电机、被所述的升降驱动电机驱动的螺杆,所述的螺杆与所述的移动块螺纹连接。
优选地,所述的升降板上还安装有一旋转电机,所述的旋转电机的输出端设置有一旋转头,所述的旋转头能够在所述的旋转电机的驱动下转动。
优选地,所述的升降支撑架包括一支撑板,所述的支撑板上开设有一沿上下方向设置的开口,所述的开口用于供所述的旋转电机穿过,当所述的旋转电机随所述的升降板上下移动时,能够在所述的开口内上下移动。
优选地,所述的升降支撑架上还设置有一用于保护线缆的升降拖链。
本申请还涉及一种搬运装置,所述的搬运装置包括所述的升降组件。
优选地,所述的搬运装置还包括Y向移动组件、能够在Y向移动组件上沿Y向滑动的X向移动组件、所述的升降组件能够在X向移动组件上沿X向滑动,所述的升降组件上设有能够上下滑动的夹持组件,所述夹持组件用于夹持花篮。
优选地,所述的Y向移动组件包括相互平行设置的两个Y向滑轨、分别设置在两天Y向滑轨上的Y向滑块、用于驱动Y向滑块沿所述的Y向滑轨滑动的Y向驱动电机,所述的Y向滑块与所述的X向移动组件相固定连接,所述的X向移动组件包括一沿X向设置的X向滑轨、沿所述的X向滑轨滑动的X向滑块、用于驱动所述的X向滑块沿所述的X向滑轨滑动的X向驱动电机,所述的X向滑块与所述的升降组件固定连接,所述的X向移动组件还包括一X向安装板,所述的X向滑轨安装在所述的X向安装板上,所述的X向安装板与所述的Y向滑块固定连接。
本申请的一种用于搬运花篮的升降组件及搬运装置,在升降板上安装有旋转电机,使被夹持的花篮能够实现旋转,使花篮的搬运更加灵活。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的