[实用新型]显影喷嘴装置及显影设备

说明书

本实用新型提供一种显影喷嘴装置及显影设备，显影喷嘴装置包括至少一显影液喷嘴，所述显影液喷嘴具有喷口；至少一抽气管路，具有抽气口，所述抽气口对应所述喷口设置，所述抽气管路用于当所述喷口存在残留液滴时进行抽气，以使所述抽气口吸入所述残留液滴。本实用新型的优点在于，当所述显影液喷嘴喷洒显影液完毕后，开启所述抽气管路，所述抽气管路能够将所述喷口处残留的液滴吸入所述抽气口，从而避免所述喷口处残留的液滴滴落至晶圆。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种显影喷嘴装置及显影设备。

背景技术

在半导体制造工艺中，对于光刻工艺中的显影技术，需要利用显影喷嘴装置向晶圆上的光致抗蚀剂表面喷洒显影液，由此可通过喷洒的显影液在晶圆上的光致抗蚀剂上形成三维图形。当显影喷嘴装置停止排液后，其会移动向其他位置，以避免影响晶圆进行后续工艺。发明人发现，在显影喷嘴装置停止排液后，在显影液喷嘴的尖端容易存在残留液滴，如图1所示，在显影液喷嘴10的尖端存在残留液滴11。在显影液喷嘴装置移动的过程中，该残留液滴11会滴落在晶圆上，影响晶圆表面图案的形成，造成良率的损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种显影喷嘴装置及显影设备，其能够避免喷口处的残留液滴滴落至晶圆上。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种显影喷嘴装置，其包括：至少一显影液喷嘴，所述显影液喷嘴具有喷口；至少一抽气管路，具有抽气口，所述抽气口对应所述喷口设置，所述抽气管路用于当所述喷口存在残留液滴时进行抽气，以使所述抽气口吸入所述残留液滴。

进一步，所述抽气口的中心线与所述喷口的中心线的夹角范围为20°～90°。

进一步，所述抽气口的直径为1～2.5mm。

进一步，所述显影喷嘴装置还包括至少一阀门，所述阀门设置在所述抽气管路上，用于控制所述抽气管路导通或截止。

进一步，所述显影喷嘴装置包括多个并行设置的显影液喷嘴，每一显影液喷嘴对应一个抽气口。

进一步，所述喷嘴装置还包括抽气泵，所述抽气泵连接所述抽气管路，所述抽气泵用于控制所述抽气管路进行抽气。

进一步，所述显影喷嘴装置还包括：检测器，所述检测器用于检测所述喷口处是否存在残留液滴；处理器，所述处理器与所述检测器和所述抽气泵连接，所述处理器用于接收所述检测器发送的信号，并基于所述信号控制所述抽气泵抽气时的气压。

进一步，所述检测器包括一光发射器及一光接收器，所述光发射器及所述光接收器相对设置在所述显影液喷嘴的两端，并形成光学路径。

进一步，所述显影喷嘴装置还包括输液管路，所述输液管路连接所述显影液喷嘴，所述输液管路用于向所述显影液喷嘴输送显影液。

本实用新型还提供一种显影设备，其包括如上所述的显影喷嘴装置。

本实用新型的优点在于，当所述显影液喷嘴喷洒显影液完毕后，开启所述抽气管路，所述抽气管路能够将所述喷口处残留的液滴吸入所述抽气口，从而避免所述喷口处残留的液滴滴落至晶圆。

附图说明

图1是现有技术中显影液喷嘴尖端存在液滴的示意图；

图2是本实用新型显影喷嘴装置的第一具体实施方式的立体结构示意简图；

图3是本实用新型显影喷嘴装置的该具体实施方式的侧面结构示意简图；

图4是本实用新型显影喷嘴装置的该具体实施方式的剖面图；

图5是所述显影液喷嘴与所述抽气管路对应关系示意图；

图6是本实用新型显影喷嘴装置第二具体实施方式的立体结构示意简图；