[实用新型]显影喷嘴装置及显影设备

权利要求书

1.一种显影喷嘴装置，其特征在于，包括：

至少一显影液喷嘴，所述显影液喷嘴具有喷口；

至少一抽气管路，具有抽气口，所述抽气口对应所述喷口设置，所述抽气管路用于当所述喷口存在残留液滴时进行抽气，以使所述抽气口吸入所述残留液滴。

2.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述抽气口的中心线与所述喷口的中心线的夹角范围为20°～90°。

3.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述抽气口的直径为1～5mm。

4.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述显影喷嘴装置还包括至少一阀门，所述阀门设置在所述抽气管路上，用于控制所述抽气管路导通或截止。

5.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述显影喷嘴装置包括多个并行设置的显影液喷嘴，每一显影液喷嘴对应一个抽气口。

6.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述喷嘴装置还包括抽气泵，所述抽气泵连接所述抽气管路，所述抽气泵用于控制所述抽气管路进行抽气。

7.根据权利要求6所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述显影喷嘴装置还包括：

检测器，所述检测器用于检测所述喷口处是否存在残留液滴；

处理器，所述处理器与所述检测器和所述抽气泵连接，所述处理器用于接收所述检测器发送的信号，并基于所述信号控制所述抽气泵抽气时的气压。

8.根据权利要求7所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述检测器包括一光发射器及一光接收器，所述光发射器及所述光接收器相对设置在所述显影液喷嘴的两端，并形成光学路径。

9.根据权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述显影喷嘴装置还包括输液管路，所述输液管路连接所述显影液喷嘴，所述输液管路用于向所述显影液喷嘴输送显影液。

10.一种显影设备，其特征在于，包括如权利要求1～9任意一项所述的显影喷嘴装置。