[实用新型]一种离子注入机检测装置

说明书

本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机检测装置，包括扫描盘，扫描盘的周围环设有若干均匀分布的控制装置，控制装置一端和扫描盘连接,控制装置上设置有法拉第杯，控制装置包括手柄、丝杆、外筒、弹簧、控制盒和固定座，丝杆的一端固定连接有手柄,丝杆的另一端延伸到外筒中，外筒形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒的内腔中设置有弹簧和控制盒，控制盒位于外筒的开口端位置，控制盒的一端接触有弹簧,弹簧的一端抵在外筒的凹槽底面，本实用新型构造设计实现法拉第杯快速和扫描盘实现空间位置同步固定，操作简单，需要旋转手柄，即可完成法拉第杯的快速脱离和结合，节省了大量时间，提高离子注入机的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机检测装置。

背景技术

现有技术中的离子注入机为了提高工作质量，需要在扫描盘上安装法拉第杯，在离子注入机中设置电流测量机构，法拉第杯所接收到的所述离子束的多少不同，使得转化的电流的大小不同，所述电流测量单元对转化的电流的大小进行检测，从而可以快速判断出离子束与扫描盘相对注入角度的偏离程度并可以将偏离信息及时反馈回控制端进行调整，但是在扫描盘上安装多个法拉第杯，涉及到定期维修保养的困扰，如何实现法拉第杯和扫描盘的快速连接或分解，是个需要解决的问题，为此我们提供了一种离子注入机检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子注入机检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机检测装置，包括扫描盘，所述扫描盘的周围环设有若干均匀分布的控制装置，所述控制装置一端和扫描盘连接,控制装置上设置有法拉第杯，所述控制装置包括手柄、丝杆、外筒、弹簧、控制盒和固定座，所述丝杆的一端固定连接有手柄,丝杆的另一端延伸到外筒中，所述外筒形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒的内腔中设置有弹簧和控制盒，所述控制盒位于外筒的开口端位置，控制盒的一端接触有弹簧,弹簧的一端抵在外筒的凹槽底面，弹簧和丝杆活动套接，丝杆一端延伸到控制盒中，控制盒形状为圆柱壳体结构，控制盒内腔中设置有圆板状的拦截板,丝杆一端端部和拦截板固定连接，所述外筒上远离手柄的一端连接有固定座，所述固定座一端端部固定嵌入到扫描盘的壳体中，法拉第杯设置于固定座中。

优选的，所述固定座形状为方形板端部一体连接L型弯折板，固定座的L型弯折板一端端部和外筒外壁固定连接，所述固定座的方形板上开设有卡位座，所述卡位座形状为三棱柱状凹槽。

优选的，外筒的内壁上开设有长方体状滑槽，控制盒的外壁上固定环设有若干均匀分布的凸出滑块，所述凸出滑块一端延伸到外筒上的滑槽中。

优选的，所述外筒上开设有螺纹孔，丝杆贯穿外筒上开设的螺纹孔，丝杆贯穿控制盒上开设的柱状通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型构造设计实现法拉第杯快速和扫描盘实现空间位置同步固定，操作简单，需要旋转手柄，即可完成法拉第杯的快速脱离和结合，节省了大量时间，提高离子注入机的工作效率；

2.本实用新型通过弹簧的设计，使控制盒和固定座配合夹住法拉第杯，为弹性夹持，进而避免离子注入机长期工作下来，法拉第杯和扫描盘之间的震动问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型位置分布图；

图3为控制装置结构示意图。

图中：1扫描盘、2控制装置、3手柄、4丝杆、5外筒、6弹簧、7控制盒、8固定座、9拦截板、10卡位槽、11凸出滑块、12法拉第杯。

具体实施方式