[实用新型]一种离子注入机检测装置有效
| 申请号： | 201921324931.1 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210325686U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 杨洋 | 申请（专利权）人： | 扬州信尚电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 黄胡生 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 检测 装置 | ||
1.一种离子注入机检测装置，包括扫描盘(1)，其特征在于：所述扫描盘(1)的周围环设有若干均匀分布的控制装置(2)，所述控制装置(2)一端和扫描盘(1)连接,控制装置(2)上设置有法拉第杯(12)，所述控制装置(2)包括手柄(3)、丝杆(4)、外筒(5)、弹簧(6)、控制盒(7)和固定座(8)，所述丝杆(4)的一端固定连接有手柄(3),丝杆(4)的另一端延伸到外筒(5)中，所述外筒(5)形状为一端开口的圆柱壳体结构，外筒(5)的内腔中设置有弹簧(6)和控制盒(7)，所述控制盒(7)位于外筒(5)的开口端位置，控制盒(7)的一端接触有弹簧(6),弹簧(6)的一端抵在外筒(5)的凹槽底面，弹簧(6)和丝杆(4)活动套接，丝杆(4)一端延伸到控制盒(7)中，控制盒(7)形状为圆柱壳体结构，控制盒(7)内腔中设置有圆板状的拦截板(9),丝杆(4)一端端部和拦截板(9)固定连接，所述外筒(5)上远离手柄(3)的一端连接有固定座(8)，所述固定座(8)一端端部固定嵌入到扫描盘(1)的壳体中，法拉第杯(12)设置于固定座(8)中。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：所述固定座(8)形状为方形板端部一体连接L型弯折板，固定座(8)的L型弯折板一端端部和外筒(5)外壁固定连接，所述固定座(8)的方形板上开设有卡位座(10)，所述卡位座(10)形状为三棱柱状凹槽。
3.根据权利要求2所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：外筒(5)的内壁上开设有长方体状滑槽，控制盒(7)的外壁上固定环设有若干均匀分布的凸出滑块(11)，所述凸出滑块(11)一端延伸到外筒(5)上的滑槽中。
4.根据权利要求1所述的一种离子注入机检测装置，其特征在于：所述外筒(5)上开设有螺纹孔，丝杆(4)贯穿外筒(5)上开设的螺纹孔，丝杆(4)贯穿控制盒(7)上开设的柱状通孔。
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