[实用新型]一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构

说明书

本实用新型公开了一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，包括滚动副、直线电机定子、直线电机动子、读头以及光栅，滚动副由底座、2条导向轨道、运动部件以及2条滚子组成，直线电机定子固设于U型直槽的底面，直线电机动子设置在直线电机定子的上方且固设于运动部件的下端；读头固设于底座的上端一侧；光栅固设于运动部件的一侧部且其运行轨迹能够被读头感应。安装于底座上的导向轨道，其两个导向面的夹角为90度，上导向面与水平面的夹角为0到45度之间，不同的直线电机动子与定子的磁吸力不同，通过不同的夹角，调整导轨面滚动副的受力情况，使整个导轨副上下两面的受力均匀，提高寿命和刚性和精度。

技术领域

本实用新型涉及LED、IC半导体金线键合机领域，具体的说是涉及一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构。

背景技术

随着半导体技术的不断发展，芯片不断向着小型化、高密度、高集成度和低成本的方向发展。金线键合机又是半导体封装的关键设备，为了适应这是需求，金线键合机必须达到高精度，高速度，高寿命，低成本的特点，为了因应这些需求，金线键合机的运动平台都是采用直线电机的方案，而带铁芯的直线电机因其高推力，低成本而被广泛使用，但是这种电机也有一个缺点就是动子和定子间的磁铁吸力很大，需要造成用来导向的导轨往往寿命和精度，刚性达不到要求。

鉴于现有技术的上述缺陷和市场需求，迫切需要研发一种新型的金线键合机的运动机构。

实用新型内容

针对现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题在于提供了一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构。

为解决上述技术问题，本实用新型通过以下方案来实现：一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，包括：

一由底座、2条导向轨道、运动部件以及2条滚子组成的滚动副，所述底座的上端部设置有U型直槽，在所述U型直槽的两个相向侧面上端角部设置有对称的直角槽，所述2条导向轨道对称的固设于两个直角槽上，2条滚子分别活动设置在2条导向轨道上并能够沿所述2 条导向轨道做X轴向移动，所述运动部件的两侧分别与所述2条滚子连接；

一直线电机定子以及一直线电机动子，所述直线电机定子固设于所述U型直槽的底面，所述直线电机动子设置在所述直线电机定子的上方且固设于所述运动部件的下端；

一读头，固设于所述底座的上端一侧；

一光栅，固设于所述运动部件的一侧部且其运行轨迹能够被所述读头感应。

进一步的，所述导向轨道，其与所述滚子的两个连接面相互垂直，其中，导向轨道的上导向面与水平面夹角的角度为0-45度。

进一步的，所述直线电机定子和所述直线电机动子之间留有气隙。

进一步的，所述直线电机定子和所述直线电机动子之间能够产生磁吸力，通过所述滚动副提供的约束力，保持所述直线电机定子和所述直线电机动子之间留有气隙。

进一步的，所述运动部件除了X轴方向以外的若干个自由度被约束。

进一步的，所述运动部件除了X轴方向以外的5个自由度被约束。

进一步的，所述滚子为直角L型。

进一步的，所述运动部件与所述滚子的相接面为直角面。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：

1、安装于底座上的导向轨道，其两个导向面的夹角为90度，上导向面与水平面的夹角为0到45度之间，不同的直线电机动子与定子的磁吸力不同，通过不同的夹角，调整导轨面滚动副的受力情况，使整个导轨副上下两面的受力均匀，提高寿命和刚性和精度。

2、其结构简单紧凑，易于装配，成本低，可有效提高企业效益。

附图说明