[实用新型]一种包含光电检测器的共振扫描器

说明书

本实用新型涉及光电检测和光学成像的技术领域，具体涉及一种包含光电检测器的共振扫描器，包括相互固定的驱动器和镜面，驱动器为共振驱动器，镜面包括相互固定的超薄片和光电检测器，光电检测器位于超薄片和驱动器之间，超薄片上镀有光学薄膜，光学薄膜位于超薄片上远离光电检测器的一端。采用本方案能极大地减小扫描器件内的元件数量，使扫描器件的体积减小，更适用于显微镜和内窥镜的技术要求。

技术领域

本实用新型涉及光电检测和光学成像的技术领域，具体涉及一种包含光电检测器的共振扫描器。

背景技术

在激光扫描及光电检测领域中，如条码阅读器，激光扫描显微镜和激光雷达(LIDAR)等，往往需要扫描器将光束的方向进行快速改变，投射到被观测物体上，被观测物体的反射光或背向散射光或激发出的发射光经透镜收集后，由光电检测器完成光电转换最终实现检测，所以，扫描系统内部的光束路径一般如下：光源→扫描器→透镜(可选)→被观测物体→透镜→扫描器(可选)→光电检测器，对于微型激光雷达模块或微型扫描显微镜(包括超紧凑台式扫描显微镜、手持式扫描显微镜、实验动物头戴式扫描显微镜和内窥镜等)等对设备体积要求非常高的应用场景来说，上述扫描系统的体积过于庞大，而现有技术也无法通过将所有元件都缩小的方法来实现缩小扫描系统的体积的目的。

实用新型内容

本实用新型意在提供一种包含光电检测器的共振扫描器，以现有技术中扫描系统过于复杂、扫描器件体积庞大的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种包含光电检测器的共振扫描器，包括相互固定的驱动器和镜面，驱动器为共振驱动器，镜面包括相互固定的超薄片和光电检测器，光电检测器位于超薄片和驱动器之间，超薄片上镀有光学薄膜，光学薄膜位于超薄片上远离光电检测器的一端。

本方案的原理及优点是：1)现有技术是单独的四个器件分别实现激发光和发射光的分离、改变激发光反射角的角度以实现扫描、滤除激发光和光电转换的功能；而本方案通过在驱动器的表面设置光电检测器和光学薄膜，使本方案同时具备上述四个功能，达到了减少扫描器件内的元件的数量，减小扫描器件的体积和重量的目的，形成一个微型扫描器；

2)本方案通过驱动器的设置可以改变镜面的倾角，达到改变激光的反射角的角度的目的，以实现激发激光对被观测物体的扫描；且本方案的驱动器采用共振驱动器，其扫描速度可达8KHZ，有利于大幅度提升扫描器件的扫描速度。

优选的，作为一种改进，光学薄膜为偏振分光薄膜和滤光薄膜。

本方案的偏振分光薄膜和滤光薄膜用于反射S线偏振光并透过P线偏振光，适用于应用到微型激光雷达模块等被观测物体的反射光和入射光具有相同波长的情况。

优选的，作为一种改进，光学薄膜为二向色镜薄膜和滤光薄膜。

本方案的二向色镜薄膜和滤光薄膜用于反射激发光并可供发射光穿过，适用于应用到微型扫描显微镜等被观测物体的激发光和发射光具有不同波长的情况。

优选的，作为一种改进，驱动器的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。

本方案将驱动器的形状设计成轴对称形状，有利于保证运行驱动器时，驱动器能平稳地为镜面提供驱动力，使镜面转动的角度和幅度更均衡稳定。

优选的，作为一种改进，镜面的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。

本方案使得镜面转动期间，反射光的角度变化更平稳，有利于更稳定地实现扫描。

优选的，作为一种改进，光电检测器为光电二极管、光电三极管、真空光电管或二维像素光电传感器。

本方案的光电检测器可以根据实际需求选择不同的光敏元件，适用性更强，通用性更佳。

优选的，作为一种改进，光电二极管为雪崩光电二极管。