[实用新型]一种包含光电检测器的共振扫描器有效

专利信息
申请号: 201921258121.0 申请日: 2019-08-05
公开(公告)号: CN210155429U 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 苏州溢博伦光电仪器有限公司
主分类号: G02B27/28 分类号: G02B27/28;G02B27/14;G02B26/08;G02B26/10;G01S7/481
代理公司: 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 代理人: 陈家辉
地址: 215011 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 包含 光电 检测器 共振 扫描器
【权利要求书】:

1.一种包含光电检测器的共振扫描器,包括相互固定的驱动器和镜面,其特征在于:所述驱动器为共振驱动器,所述镜面包括相互固定的超薄片和光电检测器,光电检测器位于超薄片和驱动器之间,所述超薄片上镀有光学薄膜,光学薄膜位于超薄片上远离光电检测器的一端。

2.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光学薄膜为偏振分光薄膜和滤光薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光学薄膜为二向色镜薄膜和滤光薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。

5.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述镜面的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。

6.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光电检测器为光电二极管、光电三极管、真空光电管或二维像素光电传感器。

7.根据权利要求6所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光电二极管为雪崩光电二极管。

8.根据权利要求6所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述二维像素光电传感器为光电耦合器件、金属半导体氧化物器件、焦平面阵器件、光电倍增管器件或单光子计数器件。

9.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器的侧面固定设有扭转梁。

10.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器为矩形。

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