[实用新型]一种包含光电检测器的共振扫描器有效
申请号: | 201921258121.0 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN210155429U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 苏州溢博伦光电仪器有限公司 |
主分类号: | G02B27/28 | 分类号: | G02B27/28;G02B27/14;G02B26/08;G02B26/10;G01S7/481 |
代理公司: | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人: | 陈家辉 |
地址: | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 包含 光电 检测器 共振 扫描器 | ||
1.一种包含光电检测器的共振扫描器,包括相互固定的驱动器和镜面,其特征在于:所述驱动器为共振驱动器,所述镜面包括相互固定的超薄片和光电检测器,光电检测器位于超薄片和驱动器之间,所述超薄片上镀有光学薄膜,光学薄膜位于超薄片上远离光电检测器的一端。
2.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光学薄膜为偏振分光薄膜和滤光薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光学薄膜为二向色镜薄膜和滤光薄膜。
4.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。
5.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述镜面的形状为多边形或圆形或椭圆形等任意轴对称形状。
6.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光电检测器为光电二极管、光电三极管、真空光电管或二维像素光电传感器。
7.根据权利要求6所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述光电二极管为雪崩光电二极管。
8.根据权利要求6所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述二维像素光电传感器为光电耦合器件、金属半导体氧化物器件、焦平面阵器件、光电倍增管器件或单光子计数器件。
9.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器的侧面固定设有扭转梁。
10.根据权利要求1所述的一种包含光电检测器的共振扫描器,其特征在于:所述驱动器为矩形。
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