[实用新型]一种多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管

权利要求书

1.一种多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，包括外管(1)和内管(2)；所述内管(2)外壁与外管(1)内壁贴合；内管(2)的进料口端部设有沙漏结构(3)，所述沙漏结构(3)锥角为45°～120°，沙漏结构底部与内管(2)连通。

2.根据权利要求1所述的多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，所述内管(2)的管壁内设有两个以上的流化气体腔道(4)，所述流化气体腔道(4)的进气口(42)位于外管(1)的外壁上，出气口(41)位于沙漏结构(3)的外壁上。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，所述外管(1)为15CrMo合金管，外径为88～90mm，管壁厚度为5～6mm；所述内管(2)为20#钢管，内径为18～25mm，管壁厚度为28～30mm。

4.根据权利要求2所述的多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，所述流化气体腔道(4)的内径不大于10mm。

5.根据权利要求4所述的多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，所述流化气体腔道(4)共四个，环形平均分布在内管(2)的管壁内。

6.根据权利要求4所述的多晶硅氯氢化流化床硅粉补加管，其特征在于，所述流化气体腔道(4)底部设有直径不大于5mm的限流孔(43)。