[实用新型]一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄

说明书

本实用新型提供了一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄，包括安装板、手持板、固定销、固定螺丝和固定螺帽，安装板为矩形板，安装板还包括安装端和手持端，安装端和手持端还分别设置于安装板的两端，安装端还设有供刀片安装的凹槽，凹槽还与安装板的中轴线相垂直，凹槽的侧壁上还设有贯穿凹槽的通孔，通孔包括第一通孔、第二通孔和第三通孔，第一通孔中设置固定销，固定螺丝还包括第一固定螺丝和第二固定螺丝，第一固定螺丝和第二固定螺丝的螺纹端还分别穿过第二通孔和第三通孔连接于固定螺帽，手持端还连有手持板。本实用新型针对硅片抛光生产过程中对抛光布进行人工刮修环节，方便了操作工人的现场操作。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，主要涉及一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄。

背景技术

抛光硅片生产中抛光布手工刮修在小转盘抛光机中仍是一个不可或缺的工艺技术环节，通常使用市售通用的单面刀片来进行。在抛光机主转盘的转动同时，操作者将单面刀片以一个适当的压力作用在抛光布上，将渍进抛光布绒毛内的残余抛光液刮出以便再进行下一次新的硅片的抛光操作。而操作者直接手持单面刀片进行操作时手指距离抛光布表面过近，抛光布上的（残余抛光液及冲洗纯水混合）液体溅到操作者手上，再随着操作者的其他操作行为带往设备等其他生产环节中，不利于环境控制，操作者直接手持单面刀片对抛光布进行刮修的力度也不容易掌握，难以保障操作的准确度和抛光布刮修的质量。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄，针对硅片抛光生产过程中对抛光布进行人工刮修环节，方便了操作工人的现场操作。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄，其特征在于：包括安装板、手持板、固定销、固定螺丝和固定螺帽，所述安装板为矩形板，安装板还包括安装端和手持端，所述安装端和所述手持端还分别设置于安装板的两端，所述安装端还设有供刀片安装的凹槽，所述凹槽还与安装板的中轴线相垂直，凹槽的侧壁上还设有贯穿凹槽的通孔，所述通孔包括第一通孔、第二通孔和第三通孔，所述第一通孔中设置所述固定销，所述固定螺丝还包括第一固定螺丝和第二固定螺丝，第一固定螺丝和第二固定螺丝的螺纹端还分别穿过所述第二通孔和所述第三通孔连接于所述固定螺帽，所述手持端还连有手持板。

进一步的，所述凹槽为供刀片背部穿过的T型槽。

进一步的，所述手持板设置于手持端的一侧。

进一步的，所述手持板与所述手持端面之间设有第一弧形面，所述手持板与安装板的侧壁之间设有供档溅板设置的第二弧形面，所述第一弧形面朝向安装板的外部弯曲，所述第二弧形面还朝向安装板的内部弯曲。

进一步的，所述固定销与第一固定螺丝之间的距离与带孔刀片的两孔之间的距离相同，所述固定销与第二固定螺丝之间的距离与不带孔刀片的宽度相同。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型的一种硅片抛光机修抛光布刀片手柄，能够同时满足带孔刀片及不带孔刀片的固定，安装方便，便于工作人员的操作，同时还避免了抛光布上液体的飞溅，便于车间环境的控制；

2、手持板与安装板之间设有两个弧面，第一弧面向上弯曲，适应于手形较大、且习惯于从上部来对抛光布表面施压的操作者使用，第二弧面向则内弯曲，适应于手形较小并习惯从旁边持刀工作的操作者使用，第二弧面除了满足手形较小以及不同持刀习惯的操作者需要外，还有在刀片修布到抛光布边缘时能够避让挡溅板的功用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型与抛光布和档溅板的配合图；

图3为图1中A-A面的剖视图；

图4为本实用新型与带孔刀片的配合图；