[实用新型]一种化学制剂供给装置

说明书

本实用新型公开了一种化学制剂供给装置，包括混合釜、底座和储存箱，所述底座的顶部通过螺栓安装有混合釜，所述混合釜的顶部通过螺栓安装有电机，所述混合釜的顶部一侧固定安装有延伸至内部的加热器，所述混合釜的底部通过螺栓安装有连接件，所述连接件的一侧通过管道安装有水泵，所述水泵的顶部通过连通管与水箱连接，所述水箱的顶部通过螺栓安装有储存箱。本实用新型安装有加热器可对混合釜内部的化学制剂进行加温，使其加快化学药剂的反应，提高化学药剂要接的反应速度，使其化学药剂得到充分的反应，提高了装置的实用性，同时通过安装有隔热层可增加装置的保温效果，避免热量的流失，造成能量的损耗，增加了装置的节能性。

技术领域

本实用新型涉及化学制剂技术领域，具体为一种化学制剂供给装置。

背景技术

化学制剂主要是指药品的活性成分是化学合成药物，和它相对应的包括中药制剂，生物制剂，化学制剂主要指的是西药制剂，生物制剂主要是疫苗，动植物提取物的制剂等，近年来，各类型的化学制剂供给装置被广泛应用到半导体装置的生产当中，化学制剂供给装置可将化学制剂提供给用于制造半导体装置的处理单元。CN1308486C

经检索，专利公告号为CN1308486C公开了化学制剂供给装置，包括：第一个槽，此槽中至少有两种从各供给槽注入的化学制剂被混合；循环装置，用于循环第一个槽中的化学制剂，以使其混合均匀；第二个槽，用于储存来自第一个槽的混合溶液；分配器，用于分配混合溶液以将混合溶液提供给各个处理单元；以及加热单元，它安装在供给混合溶液的供给管上，用于加热混合溶液。

现有技术中化学制剂供给装置所具有的缺点不足：

1、该设备在固液融合时不充分，造成化学制剂的质量不稳定，同时也影响化学制剂的效果；

2、该设备不能根据需要定量控制药剂的输入量，使其需要工作人员另寻设备进行测量，增加了工作人员的工作量，降低了工作效率；

3、该设备不能控制药剂的控制药剂的流量，使工作人员不能分开控制液体的输入量，具有一定的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学制剂供给装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学制剂供给装置，包括混合釜、底座和储存箱，所述底座的顶部通过螺栓安装有混合釜，所述混合釜的顶部通过螺栓安装有电机，所述混合釜的顶部一侧固定安装有延伸至内部的加热器，所述混合釜的底部通过螺栓安装有连接件，所述连接件的一侧通过管道安装有水泵，所述水泵的顶部通过连通管与水箱连接，所述水箱的顶部通过螺栓安装有储存箱，所述连通管的顶部通过连接管与储存箱连接。

优选的，所述混合釜的内部设有隔热层，且混合釜的底部焊接有脚架，且混合釜的正面通过螺栓安装有控制箱。

优选的，所述连接件的内部安装有安装盘，安装盘的底部通过螺栓安装有三通件，三通件的一端通过螺纹结构固定安装有输出阀。

优选的，所述电机的底部通过螺栓安装有安装座，且电机的输出端固定安装有搅拌桨。

优选的，所述连接管的内部通过螺栓固定安装有控制阀，控制阀的一侧固定安装有流量计。

优选的，所述储存箱的顶部通过固定件固定安装有密封盖，且储存箱的正面固定安装有观察窗。