[实用新型]单晶炉炉体及具有其的单晶炉

说明书

本申请涉及一种单晶炉炉体，包括相配合的底座和炉筒，其中，底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置，炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组，固定安装座的一端与底座的侧壁固定连接，固定安装座的另一端朝向炉筒设置，轴承组固定安装在固定安装座的另一端上，且轴承组中的轴承，适用于在炉筒接触到轴承的表面时转动，以对炉筒进行导向。在炉筒归位降落时，炉筒接触到炉筒导向装置后，炉筒导向装置中的轴承发生转动，炉筒在轴承的转动下被导向至正确位置。保证了炉筒归位时的位置精准度，并降低了归位降落时的操作难度。

技术领域

本公开涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种单晶炉炉体及具有其的单晶炉。

背景技术

在单晶炉的拉晶过程中，停炉后需要将炉筒提起，旋转开，以便于清理热场，清理完成后再将炉筒旋回，降落到原来位置。为了保证炉筒归位时的位置度准确，一般会在连接处设有销轴来保证炉筒位置。随着单晶炉直径不断增大，主炉体的旋转提升机构都已经使用三爪式设计提升结构，但这种结构的缺点是归位降落时误差大，若用现有销轴保证位置的方式，可调范围小，操作难度大。

发明内容

有鉴于此，本公开提出了一种单晶炉炉体，可以在炉筒归位降落时，对归位降落的炉筒进行位置导向，保证了炉筒归位时的位置精准度，并降低了归位降落时的操作难度。

根据本公开的一方面，提供了一种单晶炉炉体，包括相配合的底座和炉筒；

其中，所述底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置；

所述炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组；

所述固定安装座的一端与所述底座的侧壁固定连接，所述固定安装座的另一端朝向所述炉筒设置；

所述轴承组固定安装在所述固定安装座的另一端上，且

所述轴承组中的轴承，适用于在所述炉筒接触到所述轴承的表面时转动，以对所述炉筒进行导向。

在一种可能的实现方式中，所述炉筒导向装置的个数为四个，且

四个所述炉筒导向装置等间隔安装在所述底座的侧壁上，且四个所述炉筒导向装置成对设置；

其中，每对所述炉筒导向装置相对所述底座的中轴线对称。

在一种可能的实现方式中，所述固定安装座的主体呈“L”型结构；

其中，主体呈“L”型结构的所述固定安装座中，横截面面积较大的一端与所述底座的侧壁螺接，横截面面积较小的一端作为所述固定安装座的另一端，固定安装有所述轴承组。

在一种可能的实现方式中，所述固定安装座的中轴线与所述底座的中轴线相平行。

在一种可能的实现方式中，所述固定安装座与所述底座的侧壁相连接的一端开设有多个第一螺孔；

所述底座的侧壁上开设有多个与所述第一螺孔相匹配的第二螺孔；

所述固定安装座与所述底座的侧壁通过所述第一螺孔和所述第二螺孔进行螺纹连接。

在一种可能的实现方式中，多个所述第一螺孔的孔径不完全相同；且

多个所述第二螺孔的孔径不完全相同。

在一种可能的实现方式中，所述轴承组还包括旋转轴；所述旋转轴的一端与所述轴承的内圈固定连接；

其中，在所述炉筒接触到所述轴承的表面时，所述轴承的外圈能够以所述旋转轴的中轴线为转轴转动；

所述固定安装座朝向所述炉筒设置的一端上开设有通孔；

所述通孔的开口所在的平面与所述炉筒的横截面相垂直；