[实用新型]单晶炉炉体及具有其的单晶炉有效
申请号: | 201921037493.0 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN210765578U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 袁静;关树军;陈辉 | 申请(专利权)人: | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人: | 陈佳妹;贾满意 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉炉体 具有 单晶炉 | ||
1.一种单晶炉炉体,其特征在于,包括相配合的底座和炉筒;
其中,所述底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置;
所述炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组;
所述固定安装座的一端与所述底座的侧壁固定连接,所述固定安装座的另一端朝向所述炉筒设置;
所述轴承组固定安装在所述固定安装座的另一端上,且
所述轴承组中的轴承,适用于在所述炉筒接触到所述轴承的表面时转动,以对所述炉筒进行导向。
2.根据权利要求1所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述炉筒导向装置的个数为四个,且
四个所述炉筒导向装置等间隔安装在所述底座的侧壁上,且四个所述炉筒导向装置成对设置;
其中,每对所述炉筒导向装置相对所述底座的中轴线对称。
3.根据权利要求1所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述固定安装座的主体呈“L”型结构;
其中,主体呈“L”型结构的所述固定安装座中,横截面面积较大的一端与所述底座的侧壁螺接,横截面面积较小的一端作为所述固定安装座的另一端,固定安装有所述轴承组。
4.根据权利要求1所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述固定安装座的中轴线与所述底座的中轴线相平行。
5.根据权利要求3所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述固定安装座与所述底座的侧壁相连接的一端开设有多个第一螺孔;
所述底座的侧壁上开设有多个与所述第一螺孔相匹配的第二螺孔;
所述固定安装座与所述底座的侧壁通过所述第一螺孔和所述第二螺孔进行螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的单晶炉炉体,其特征在于,多个所述第一螺孔的孔径不完全相同;且
多个所述第二螺孔的孔径不完全相同。
7.根据权利要求1至6任一项所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述轴承组还包括旋转轴;所述旋转轴的一端与所述轴承的内圈固定连接;
其中,在所述炉筒接触到所述轴承的表面时,所述轴承的外圈能够以所述旋转轴的中轴线为转轴转动;
所述固定安装座朝向所述炉筒设置的一端上开设有通孔;
所述通孔的开口所在的平面与所述炉筒的横截面相垂直;
所述旋转轴未与所述轴承相连接的一端穿插在所述通孔中,通过所述通孔与所述固定安装座固定连接。
8.根据权利要求7所述的单晶炉炉体,其特征在于,还包括螺母;
所述旋转轴穿过所述通孔的一端的端面上设置有螺纹;
所述螺母与所述螺纹相配合,以使所述旋转轴与所述固定安装座螺接。
9.根据权利要求7所述的单晶炉炉体,其特征在于,所述轴承组呈“T”型结构,且
所述旋转轴的直径与所述固定安装座朝向所述炉筒端上的所述通孔的直径相同。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括权利要求1至9任一项所述的单晶炉炉体。
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