[实用新型]硅片多线切割装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片多线切割装置，其包括机台，具有内腔；进给台，沿竖直方向可移动的设于所述机台的内腔；以及若干个尼龙板，固定设于所述机台的内腔，并围绕所述进给台设置；所述尼龙板与所述进给台紧密贴合；每个所述尼龙板均与所述进给台的侧面线接触或面接触，若干个所述尼龙板的与所述进给台的接触线和接触面在所述进给台的底面的投影与所述进给台的侧面在所述进给台的侧面在所述进给台的投影重合。上述硅片多线切割装置，尼龙板耐磨性能较好，从而具有较长的使用周期。另外，尼龙板还可与进给台更紧密的贴合，从而能够将进给台的侧面清理的更加干净，以降低硅片多线切割装置的断线概率。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割领域，特别是涉及一种硅片多线切割装置。

背景技术

目前，硅棒多通过硅片多线切割装置的切割形成硅片。利用硅片多线切割装置进行切割时，将硅料固定设于进给台上，进给台可上下移动。切割过程中进给台持续下降以将硅料切成硅片。然而，由于进给台的侧面硅块沉积越多,因硅块掉落至线网而引起断线的概率越大。为使得进给台侧面在切割过程中一直保持较好的洁净程度,在机台内腔装有与进给台的侧面紧密贴合的刮泥板。

然而，传统的刮泥板使用周期较短，且存在进给台侧面清理不干净的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对进给台侧面清理不干净的问题,提供一种硅片多线切割装置。

一种硅片多线切割装置，包括：

机台，具有内腔；

进给台，沿竖直方向可移动的设于所述机台的内腔；以及

若干个尼龙板，固定设于所述机台的内腔，并围绕所述进给台设置；所述尼龙板与所述进给台紧密贴合；每个所述尼龙板均与所述进给台的侧面线接触或面接触，若干个所述尼龙板的与所述进给台的接触线或接触面在所述进给台的底面的投影的组合与所述进给台的侧面在所述进给台的侧面在所述进给台的投影重合。

上述硅片多线切割装置，尼龙板耐磨性能较好，从而具有较长的使用周期。另外，尼龙板还可与进给台更紧密的贴合，从而能够将进给台的侧面清理的更加干净，以降低硅片多线切割装置的断线概率。

在其中一个实施例中，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面面接触的接触面，所述尼龙板的底面与所述尼龙板的接触面相邻且夹角为锐角。

在其中一个实施例中，所述尼龙板可移动的设于所述机台上，所述尼龙板的移动方向与所述进给台的与该所述尼龙板紧密贴合的侧面垂直。

在其中一个实施例中，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面线接触的接触线，所述接触线呈非直线状；

且/或，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面面接触的接触面，所述接触面的底边呈非直线状。

在其中一个实施例中，所述接触线呈齿状或波浪状，所述接触面的底边呈齿状或波浪状。

在其中一个实施例中，所述进给台为金属进给台，所述尼龙板的远离所述进给台的一侧固定设有可与所述进给台相互吸引的磁性件。

在其中一个实施例中，所述尼龙板具有至少两个与所述进给台的侧面抵接的接触线，且至少两个所述接触线沿竖直方向排布；所述接触线与水平方向的夹角大于零。

在其中一个实施例中，所述尼龙板具有至少两个与所述进给台的侧面抵接的接触线，且至少两个所述接触线沿竖直方向排布；相邻所述接触线之间形成凹陷，所述尼龙板上设有连通外界与所述凹陷的排污孔，每个所述凹陷均对应设有所述排污孔。

在其中一个实施例中，每个所述尼龙板具有至少三个所述接触线；一个所述排污孔与至少两个所述凹陷连通。

在其中一个实施例中，所述排污孔的与外界连通的开口位于所述尼龙板的底面。

附图说明