[实用新型]硅片多线切割装置

权利要求书

1.一种硅片多线切割装置，其特征在于，包括：

机台，具有内腔；

进给台，沿竖直方向可移动的设于所述机台的内腔；以及

若干个尼龙板，固定设于所述机台的内腔，并围绕所述进给台设置；所述尼龙板与所述进给台紧密贴合；每个所述尼龙板均与所述进给台的侧面线接触或面接触，若干个所述尼龙板的与所述进给台的接触线或接触面在所述进给台的底面的投影的组合与所述进给台的侧面在所述进给台的侧面在所述进给台的底面的投影重合。

2.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面面接触的接触面，所述尼龙板的底面与所述尼龙板的接触面相邻且夹角为锐角。

3.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述尼龙板可移动的设于所述机台上，所述尼龙板的移动方向与所述进给台的与该所述尼龙板紧密贴合的侧面垂直。

4.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面线接触的接触线，所述接触线呈非直线状；

且/或，所述尼龙板具有与所述进给台的侧面面接触的接触面，所述接触面的底边呈非直线状。

5.根据权利要求4所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述接触线呈齿状或波浪状，所述接触面的底边呈齿状或波浪状。

6.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述进给台为金属进给台，所述尼龙板的远离所述进给台的一侧固定设有可与所述进给台相互吸引的磁性件。

7.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述尼龙板具有至少两个与所述进给台的侧面抵接的接触线，且至少两个所述接触线沿竖直方向排布；所述接触线与水平方向的夹角大于零。

8.根据权利要求1所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述尼龙板具有至少两个与所述进给台的侧面抵接的接触线，且至少两个所述接触线沿竖直方向排布；相邻所述接触线之间形成凹陷，所述尼龙板上设有连通外界与所述凹陷的排污孔，每个所述凹陷均对应设有所述排污孔。

9.根据权利要求8所述的硅片多线切割装置，其特征在于，每个所述尼龙板具有至少三个所述接触线；一个所述排污孔与至少两个所述凹陷连通。

10.根据权利要求8所述的硅片多线切割装置，其特征在于，所述排污孔的与外界连通的开口位于所述尼龙板的底面。